来源 :界面新闻2023-10-30
华特气体近期接受投资者调研时称，公司锗烷产品去年底通过了韩国最大存储器企业的5纳米制程工艺产线的认证，已产生订单。高纯锗烷主要用于先进制程工艺，产品在国内暂没有需求，公司的锗烷产品主要出口海外。乙硅烷项目已经完成产线安装，目前在小试阶段，试验产品已供下游部分客户进行认证，处于认证中状态。