来源 :界面新闻2023-12-07
华特气体近期接受投资者调研时称，公司锗烷产品去年底已通过韩国最大存储器企业的5纳米制程工艺产线的认证，且已产生订单。乙硅烷项目已完成产线安装，目前在小试阶段，试验产品已供下游部分客户进行认证，仍然处于认证中状态。