来源 :上证e互动2026-04-15
华特气体(688268)董秘你好想问下2026年贵公司在6N级氦气以及5N级氦气的产量大概在多少吨，未来贵公司有做EUV7N级的半导体氦气技术的积累吗？
尊敬的投资者，您好！行业内一般定义5N为高纯氦，5N5及以上为超高纯氦，公司遵循行业一般规定命名产品。产量是与客户的需求量相匹配，目前公司在研项目没有EUV7N级的半导体氦气，感谢您的关注。