来源 :上证e互动2026-06-02
华特气体(688268)董秘您好：请问混合光刻气有没有哪一款是有氦气混合的。
尊敬的投资者，您好！公司自主研发多款稀混光刻气（Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne、Kr/F/Ne和Ar/Ne/Xe等），是国内唯一一家多款稀混光刻气（其中2款含有微量氟）同时通过荷兰ASML公司和日本GIGAPHOTON株式会社认证的气体企业，感谢您的关注。