来源 :上证e互动2025-09-08
华虹公司(688347)公司在晶圆、芯片制造过程中，会采用半导体臭氧及臭氧水设备吗？具体是哪些环节？
尊敬的投资者您好，臭氧是集成电路制造中使用到的一种小量辅助气体，涉及CVD及清洗等步骤，其使用情况与工艺的先进、良率高低等问题关系不大。感谢您的关注与支持！