骄成超声申请基于振荡摆风的除尘装置专利，实现对工件进行除尘

　　据国家知识产权局公告，上海骄成超声波技术股份有限公司申请一项名为“一种基于振荡摆风的除尘装置“，公开号CN117225814A，申请日期为2023年6月。

　　专利摘要显示，本发明属于半导体元器件加工技术领域，具体涉及一种基于振荡摆风的除尘装置，包括箱体、翻转机构以及风刀模组，翻转机构转动连接于箱体，并被配置为联动工件旋转运动；风刀模组包括离子风刀、直线模组和摆动机构，直线模组被配置为驱动离子风刀相对于工件沿直线往复运动；摆动机构正对翻转机构设置，被配置为联动离子风刀相对于工件在一定角度内循环摆动，以使离子风刀以振荡波形的方式连续向工件表面吹送离子风，通过去除工件表面的静电，以实现对工件进行除尘；本发明中的工件能够实时进行任意角度翻转，同时通过离子风刀直线往复运动兼顾旋转运动，使得工件表面的各个角度更充分地与离子风接触，以使粉尘去除更彻底。