路维光电：已实现250nm制程节点半导体掩膜版的量产

　　路维光电披露调研纪要显示，目前公司已实现250nm制程节点半导体掩膜版的量产。近年，公司主要客户有京东方、华星光电、天马、信利等，半导体掩膜版主要客户有士兰微、晶方科技、华天科技、通富微电、三安光电、光迅科技等。公司G11掩膜版产品相关技术指标已达国际先进水平，CD精度可控制在±0.1μm以内，总长及位置精度可控制在±0.5μm以内。