汇成股份申请防止硬度机物镜刮伤晶圆的装置专利，能避免因操作员操作失误而导致的产品刮伤及破裂的风险

　　2024年2月19日消息，据国家知识产权局公告，合肥新汇成微电子股份有限公司申请一项名为“一种防止硬度机物镜刮伤晶圆的装置“，公开号CN117554161A，申请日期为2023年11月。

　　专利摘要显示，本发明公开了一种防止硬度机物镜刮伤晶圆的装置，包括装置底座，所述装置底座上端固定并排设置有主体机柜和升降支座，所述升降支座上端固定安装有加工载台，所述加工载台用于放置晶圆并且带动晶圆升降移动，所述主体机柜上部固定设置有上支架，所述上支架上安装有用于对晶圆表面聚焦的镜头，所述加工载台上固定安装有触发机构，所述主体机柜上固定安装有传感机构；所述传感机构包括固定设置在主体机柜上的传感座板，所述传感座板上通过开关安装板固定安装有与触发机构相配合的限位开关；本发明不仅可达到能使晶圆表面聚焦清晰的同时，又可避免因操作员操作失误而导致的产品刮伤及破裂的风险。