来源 :晶升股份2025-12-29
近日，公司自主研发的 12 英寸碳化硅单晶炉完成小批量发货，正式交付客户投入应用。作为深耕半导体装备领域的创新企业，公司凭借对于碳化硅晶体生长的持续技术攻关，快速实现了12英寸碳化硅长晶设备的小批量出货，为12英寸碳化硅在先进封装及AR眼镜等新兴领域的应用奠定了坚实的国产化材料根基。
硬核装备，筑基产业链
设备发货现场
瞄准AR眼镜等前沿需求，
构建高纯碳化硅材料生长基石
在高纯环境构建方面，公司自主研发大口径高密封性能接口，搭配定制化大抽速泵组，大幅降低设备系统漏率，构建起适配大尺寸单晶生长的高纯系统本底环境，可充分满足高纯度、高透过率碳化硅单晶的制备需求，完美适配AR眼镜等高端光学应用场景的材料生产。
全流程自动化热场输运系统，
开启效率与工艺一致性新篇章
生产效率与一致性提升上，创新打造全流程机械化热场输送系统，通过自动化控制实现热场组件的精准转运与定位，从根源上保障不同批次生产的工艺稳定性，同时将单炉生产效率提升20%以上，有效破解了规模化量产的核心障碍。
温度-应力场协同调控与缺陷抑制技术突破
晶体质量控制领域，通过数值模拟与实验验证的深度结合，完成温度场与应力场的协同调控技术开发，深入研究缺陷机理，成功抑制位错、微管等晶体缺陷，为产出高品质12英寸碳化硅单晶提供了可靠的设备保障。
以持续创新
赋能产业链高质量发展
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此次 12 英寸碳化硅单晶炉的顺利小批量发货，不仅是晶升股份技术研发与产业化能力的直接印证，更标志着国产半导体装备在大尺寸碳化硅长晶领域迈出关键一步。未来，公司将持续聚焦核心技术创新，精进产品性能与生产效率，为国内碳化硅产业链的自主可控、高质量发展提供更具竞争力的装备解决方案，与行业伙伴携手共创国产半导体装备的新高度。