芯碁微装申请检测平行光路平行半角和光偏角的装置和方法及检测系统专利，提高接近式曝光机光路装配精度

　　金融界2024年3月23日消息，据国家知识产权局公告，合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请一项名为“检测平行光路平行半角和光偏角的装置和方法及检测系统“，公开号CN117742085A，申请日期为2023年12月。

　　专利摘要显示，本发明公开了检测装置、检测平行半角和光偏角的方法及检测系统，其中，检测装置包括壳体、检测光路和测量模块，壳体限定出容纳空间，壳体上具有输入孔，在检测时平行光路的光通过输入孔垂直摄入容纳空间；检测光路位于容纳空间内，用于将输入孔垂直摄入的光垂直投射至检测区域；测量模块位于检测区域，用于根据垂直投射至检测区域的光斑获得用于计算平行光路平行半角和光偏角的检测数据。该检测装置可以直接用于检测接近式曝光机的平行光路的平行半角和光偏角，提高接近式曝光机光路装配精度。