来源 :上证e互动2025-09-15
芯碁微装(688630)请问贵公司设备可用于制造碳化硅材料吗
尊敬的投资者您好！公司半导体功率器件设备MLF系列直写光刻机采用先进的数字光刻技术，无需掩模版，可直接将版图信息转移到涂有感光材料的衬底上，适用于第三代半导体碳化硅工艺应用，功率半导体（IGBT）、陶瓷基板等应用领域。感谢关注！