来源 :上证e互动2025-09-12
中芯国际(688981)公司会在芯片生产过程中，采用半导体臭氧及臭氧水设备吗？具体是在哪些环节？
尊敬的投资者，您好！晶圆制造过程中，通常在CVD等工艺的部分环节需使用臭氧或相关设备。感谢您的关注！