来源 :MEMS2022-11-17
据麦姆斯咨询报道，2022年11月16日，奥迪威在德国慕尼黑电子展（electronica 2022）发布其首款MEMS传感器——AW101，布局超声新领域。
慕尼黑展会现场
国内同步以直播形式举办线上发布会，邀请了中山大学物理学院余向阳教授、奥迪威总经理张曙光先生等嘉宾作技术交流，围绕基于PMUT技术的新产品“MEMS超声波传感器AW101”进行了分享。
线上发布会现场
余向阳：PMUT传感器可填补或替代部分光电传感器应用
中山大学物理学院、光电材料与技术国家重点实验室教授、博士生导师余向阳教授表示，PMUT传感器与光电传感器在长波段（尤其是从远红外到太赫兹波段）的应用场景上有比较大的可覆盖性与交集度，PMUT可以替代部分光电传感器应用的场景或填补一些空白地带。
张曙光：PMUT有助于设计更好的SIP/SOC方案
奥迪威总经理张曙光先生提到，PMUT是个小尺寸MEMS器件，产品将进一步阵列化、集成化、复合化。随着技术的发展，薄膜材料厚度将从微米级发展到纳米级，器件尺寸将从从毫米级发展到亚毫米级，尺度的逐步变小，更有助于设计更好的SIP/SOC方案。
MEMS超声波传感器：AW101
MEMS超声波传感器AW101采用MEMS微纳工艺与封装制造方法，单个芯片兼具超声波发射与接收功能，是基于高性能压电功能薄膜与硅基MEMS异质集成的新一代超声波传感器。
AW101产品
AW101特点
AW101产品封装尺寸为4.2x4.5x2mm，多物体探测距离＞1m。
AW101尺寸图对比
AW101工艺
AW101产品采用薄膜生长、刻蚀、一体化封装等MEMS制造技术，通过全自动设备生产，实现全自动封装测试；该产品可用SMT工艺回流贴装，生产效率高，且保障产品一致性及可靠性。
AW101制造工艺
AW101性能
MEMS超声波传感器AW101可作为收发一体使用，在5Vop电压时，声压达到98dB以上。AW101的视场广至180°全景覆盖，支持180°/45°定制调节。
更多优势
1、低压驱动低功耗远距离探测
AW101可实现低压驱动、低功耗声压发射，在空气中实现远距离传播，适合中长距离的障碍物探测。
2、阵列化多频工作
AW101由于超小尺寸、一致性高等特点，可以在狭小的空间内设置更多形态频率阵列（如双频率阵列），为应用整机提供可重构工作模式。
3、封装可靠性高
AW101具备IP67防护等级，可用于室内室外工业等复杂环境。