硅烷科技取得电子级多晶硅制备系统专利，提高硅棒的生长品质

　　2024年1月15日消息，据国家知识产权局公告，河南硅烷科技发展股份有限公司取得一项名为“一种基于浸润性调控方法的区熔用电子级多晶硅制备系统”，授权公告号CN116675230B，申请日期为2023年5月。

　　专利摘要显示，本发明涉及区熔级多晶硅技术领域，具体公开了一种基于浸润性调控方法的区熔用电子级多晶硅制备系统，可以防止低温气体由固定点位通入，导致局部温度过低，导致硅棒发生裂痕的情况，并且可以使硅烷和氢气在化学气象沉积炉的内部均匀分布，可以提高硅棒生长的浸润性，使得硅棒均匀沉积，提高硅棒的生长品质。