事件：公司发布2021 年三季度报告，前三季度营业总收入61.73 亿元，同比增长60.95%；归母净利润为6.58 亿元，同比增长101.57%；扣非归母净利润为5.25 亿元，同比增长200.95%。

    　　三季度业绩延续高增长，在手订单充足：公司前三季度营业收入与归母净利润同比大幅增加，其中归母净利润接近此前业绩指引上限。

    　　公司前三季度营收同比大增主要原因为半导体市场景气度高，晶圆厂纷纷扩大资本开支带动设备需求向好。从Q3 单季度来看，公司营收以及归母净利润分别为25.65 亿元、3.48 亿元，同比分别+54.65%、+144.16%，环比分别+17.35%、46.85%，单季度营收以及归母净利润均创新高。从盈利能力来看，Q3 毛利率37.83%，同比+4.17pct，环比-7.68pct；净利率 15.21%，同比+4.89pct，环比+1.99pct。公司截止Q3的存货为76 亿元，同比+62%，环比+6%，反应公司积极备货；合同负债为55 亿元，同比+81%，环比+16%，主要原因是销售订单增加，收到客户的合同预收款增加。

    　　半导体设备全面布局，定增募资加速扩产。公司业务包括半导体设备、真空设备、新能源锂电设备和精密元器件等业务，其中半导体的刻蚀机、PVD、CVD、立式炉、清洗机、ALD 等设备新产品市场导入节奏加快，产品工艺覆盖率及客户渗透率进一步提高。第三代半导体、新型显示、光伏设备产品线进一步拓宽，出货量实现较快增长。同时，公司不断推进先进制程设备的研发，目前已完成28nm 制程技术并向14-5nm 技术进军。另外，公司拟定增募资85 亿元投入扩建生产及研发项目，目前已经获得中国证监会批复。此次募投项目达产后将形成集成电路设备500 台、新兴半导体设备500 台、LED 设备300 台、光伏设备700 台的生产能力，22 万只高精密石英晶体振荡器和2000 万只特种电阻的生产能力，达产后预计可形成年均产值79 亿元。随着国产替代的持续推进以及新增产能的释放，公司在半导体设备市场的份额有望持续提高。

    　　行业景气高涨，半导体设备迎上行周期：在5G、物联网、汽车电子、云计算等需求的带动下，半导体市场需求高涨，晶圆厂纷纷扩大资本开支，带动设备需求大增，根据SEMI 的数据，预计2021 年全球半导体设备市场规模将增至953 亿美元，同比增长33.85%，并于2022 年超过1000 亿美元。从最新的数据来看，根据SEMI 的数据，2021 年9 月北美半导体设备出货金额37.18 亿美元（为历史第二高），同比增长　　35.5%，环比增长1.7%。9 月北美半导体出货额回升，同比增速超过35%，晶圆厂在行业高景气的推动下，纷纷扩大资本开支，带动上游设备需求大增。在行业高景气以及国产替代需求的带动下，国产半导体设备有望迎来发展黄金期。

    　　投资建议：我们预计公司2021 年~2023 年收入分别为89.62 亿元、121.89 亿元、158.46 亿元，归母净利润分别为9.16 亿元、12.80 亿元、15.54 亿元，维持“买入-A”投资评级。

    　　风险提示：行业景气度不及预期；扩产项目不及预期；市场开拓不及预期。