核心观点：

    　　半导体设备下游需求旺盛，公司业绩超预期。公司发布2021 年业绩预告，预计2021 年营收84.78~109.01 亿元（YoY+40%~80%）；归母净利润9.40~12.08 亿元（YoY+75~125%）；扣非后归母净利润亿元（YoY+250%~350%）。2021 年，公司主营业务下游客户需求旺盛，半导体装备及电子元器件业务实现持续增长，使得公司营收及利润均实现快速增长。

    　　平台化布局加速推进，技术协同优势夯实龙头地位。公司新品研发和市场拓展齐头并进，刻蚀机、PVD、CVD、立式炉、清洗机、ALD 等设备新品的市场导入节奏加快，先进制程多种产品通过客户验证，成熟制程设备的工艺覆盖率快速提升，相关设备的客户渗透率进一步扩大，构建了多品种、跨领域的平台化半导体设备布局。公司在刻蚀、沉积、扩散等领域技术储备丰富，在技术创新实力、新品开发周期、客户粘性等方面竞争力显著，具备工艺覆盖广、多工艺整合、应用场景多元的技术协同优势，行业龙头地位稳固。

    　　设备需求扩增+国产替代推进，公司成长空间广阔。台积电上修年资本开支计划至400-440 亿美元，对2022 年行业景气度展望乐观；中芯国际、华虹半导体等大陆晶圆厂也积极推进扩产，有望带动设备需求持续提升。目前，中国大陆已成为全球最大半导体设备市场，国产替代空间广阔，公司产品在集成电路主流产线实现批量销售，在国产半导体产业链的核心地位显著，未来有望充分受益于设备市场的景气度延续和国产替代进程。

    　　盈利预测与投资建议。预计21-23 年收入为97.34/142.74/195.83 亿元，对应PS 分别为15.88/10.83/7.89 倍。根据可比公司估值，给予年营收15 倍PS，合理价值为407.36 元/股，给予“买入”评级。

    　　风险提示。需求不及预期；新品推出不及预期；客户开拓不及预期。