集成电路湿法设备批量交付，多路线布局的泛半导体设备龙头22 日晚间，公司官网报道公司首批集成电路全自动湿法设备成功交付客户，同时用于MicroLED、第三代化合物半导体及集成电路IDM 厂的槽式清洗设备及相关附属设备也在设计制造中。SEMI 与IC Insight 预测21 年半导体设备销售额yoy+34%, 中国大陆晶圆产能即将超过日本成为全球第三，我们认为公司有望受益于半导体设备国产替代进展，同时多线布局光伏技术（PERC+/Topcon/HJT）与半导体设备拓展有望助力公司中长期稳定增长。

    　　维持盈利预测，预计21~23 年归母净利润9.0/12.0/15.8 亿元，增持评级。

    　　半导体领域布局逐步落地，清洗与炉管类设备在研项目充足据公司官网披露，孙公司创微微电子此次共成功交付3 套集成电路全自动槽式湿法清洗设备至客户进行大批量生产。子公司常州捷佳创2019 年成立半导体湿法工艺研究室，加强对集成电路湿法设备布局，2020 年9 月成立了创微微电子，专门从事集成电路湿法清洗工艺设备的研发和生产，包含槽式及单晶圆湿法清洗设备。据公司2 月3 日定增回复公告，公司募投项目中半导体研发项目还包括批次式与单晶圆刻蚀清洗工艺设备、炉管类气相沉积设备，覆盖28nm 以下制程的6/8/12 寸晶圆。我们认为，公司半导体清洗设备研发项目储备充足，募投项目或助力公司半导体设备持续拓展，赢取订单。

    　　内部研究院异质结中试线成功流片，把握呼啸而来的N 型电池片时代据公司官网报道，7 月20 日公司常州研究院HJT 中试线下线了首片异质结高效电池片。我们认为，新一代光伏设备复杂性与精密度提高，自建验证线有利于加快客户验收进程，提高公司整体“交钥匙”能力，助力产业链走出技术路径抉择期。研究院HJT 中试线自6 月1 日第一台设备进场，到7 月20 日首片下线，所有工序设备用50 天的时间，都已实现功能稳定。我们认为，TOPCon 与多主栅、半片、叠瓦等技术相配合，可以实现更高的功率，HJT 技术作为最具发展潜力的量产电池技术之一，有望真正开启光伏低成本量产时代，公司在光伏技术上的双重布局有利于公司长期订单增长。

    　　下游应用加速验证，多赛道布局光伏与半导体，增持评级7 月19 日，隆基股份公布其P 型TOPCon 电池转换效率达到25.19%，爱康科技7 月13 日公布其异质结电池单批次平均效率达24.85%，我们认为新技术加速验证下公司订单有望保持增长，维持21-23 年归母净利预测9.0/12.0/15.8 亿元，对应PE 54/41/31 倍。公司21-23 年CAGR 为44.5%，可比公司21xPEG 均值1.73 倍，公司多领域布局，但考虑半导体领域规模较小，给予21 年1.70xPEG，目标价195.52 元（前值149.56 元），增持评级。

    　　风险提示：疫情反复；新技术进度不及预期；市场竞争加剧；减值损失上升。