事件描述

    　　公司微信公众号发布，已取得重要客户在槽式湿法清洗设备上的批量订单，并于2021年7 月21 日成功交付3 套集成电路全自动槽式湿法清洗设备至客户进行大批量生产。

    　　事件评论

    　　半导体设备业务进展迅速。公司于2020 年9 月投资成立创微微电子（常州）有限公司，从事集成电路湿法清洗工艺设备业务，主要包含槽式和单片式晶圆湿法清洗设备。公司正在设计制造中的设备还包括用于MicroLED、第三代化合物半导体及集成电路IDM 厂的槽式清洗设备及相关附属设备，涵盖了集成电路8 寸及以下近70%湿法工艺步骤，包含有光刻胶去除、氧化膜刻蚀、金属膜刻蚀、炉管前清洗及有机溶剂清洗等，拥有Cassette 与Cassette less 两种类型，覆盖晶圆尺寸从100mm~200mm。

    　　HJT 中试线首片已下线，静待效率数据。公司HJT 中试线异质结电池首片下线，试验线位于常州，制绒、非晶硅镀膜、TCO、丝网印刷等工序的主机及自动化全线贯通，且所有工艺和自动化设备均为公司自研，目前功能与技术已稳定，大腔体板式PECVD 设备已投入使用，并还将验证管式PECVD、PAR 等更多技术形态的设备及工艺。同时验证多种设备和技术路线，将使得公司可以满足不同客户的需求。

    　　此前多种因素使得公司在异质结特别是PECVD 环节进展相对滞后，中试线验证结果将补齐PECVD 短板。目前HJT 中试线正在效率爬升中，静待验证数据。

    　　用于Topcon 的PECVD 验证进展顺利。公司在Topcon 方面具有完整的产品布局，在隧穿氧化层上同时有LPCVD 和PECVD 设备，管式PECVD 设备已在客户现场验证且取得良好效果。未来Topcon 无论是改造还是新建，公司均有望受益。

    　　维持“买入”评级。公司在HJT、Topcon 两条技术路线及其中的多种设备路线中布局全面，无论未来哪一种技术或设备路线胜出，公司均将受益。而本次集成电路清洗设备的成功交付，使得公司成功实现从光伏装备向泛半导体及半导体行业的拓展。预计公司2021-2022 年归母净利润9.38、12.37 亿元，在光伏设备和半导体设备板块中，均有较高性价比，除此次半导体设备的进展外，后续HJT 的效率数据将有望进一步打开估值空间，维持“买入”评级，继续推荐。

    　　风险提示

    　　1. 下游扩产量低于预期；

    　　2. 行业新技术迭代进度低于预期；

    　　3. 公司新产品研发进度低于预期。