事件：公司发布三季报。21年公司前三季度实现收入37.45亿元，同比+21.43%，实现归母净利润5.99亿元，同比+33.06%。21Q3公司实现收入11.22亿元，同比-5.87%，环比-22.46%，实现归母净利润1.42亿元，同比-29.64%，环比-42.51%。

    　　21Q3盈利能力环比提升，股权激励有望提振业绩。21Q3公司毛利率环比+1.47pct，盈利能力小幅提升。10月，公司发布股权激励方案。激励计划授予的激励对象总人数为131人，拟授予的限制性股票数量为61.85万股，占本激励计划草案公告时公司股本总额约3.48亿股的0.18%。预计激励计划有望绑定核心人员，提升未来业绩。

    　　RPD方面加快与隆基合作，中标钙钛矿设备订单有望打开全新市场。公司加紧与隆基合作研发，新电池技术有望逐渐进步。同时，公司中标首个钙钛矿中试设备采购订单。在RPD设备方面，公司目前量产设备RPD5500A已完成量产优化升级，助力客户满产运行，量产效率指标处于行业领先水平。

    　　半导体方面布局广泛，未来业绩有望提升。公司现已成功交付3套集成电路全自动槽式湿法清洗设备至客户进行大批量生产。正在设计制造中的设备涵盖集成电路200mm以下近70%湿法工艺步骤，拥有Cassette与Cassetteless两种类型，覆盖晶圆尺寸从100mm~200mm。

    　　投资建议：原材料价格上涨对公司有一定影响，调整盈利预测。预计21-23年归母净利润为7.92/10.28/12.35亿元(原预测为8.98/12.28/15.80亿元)，YoY+51.4%/29.8%/20.1%,EPS分别为2.28/2.96/3.55元。考虑公司与龙头合作密切，技术布局完备，维持“买入”评级。

    　　风险提示：设备研发及降本不及预期、光伏装机不及预期