钙钛矿设备：首台套量产型钙钛矿电池核心装备出货；弥补国产设备空白1）据公司微信公众号，公司钙钛矿电池关键量产设备“立式反应式等离子体镀膜设备” (RPD)通过厂内验收，将发运给客户投入生产。

    2）该台RPD 设备是由公司引进台湾的博士团队在原有日本住友技术平台上进行授权设计并持续研发的一款面向钙钛矿电池的大面积量产型生产设备，具有多项的自主知识产权，填补了国产设备在这一领域中的空白。

    3）行业趋势：钙钛矿属于第三代高效薄膜电池的代表，具高效率、低成本、高柔性等优势。钙钛矿太阳能电池还可通过与HJT 叠层进一步提升光电转换效率，是未来产业化的重点发展方向。

    设备端，钙钛矿电池制备主要工艺为涂布及PVD/RPD，生产流程比晶硅类大幅简化，目前处于设备工艺验证阶段。我们测算2030 年钙钛矿电池设备市场空间约805 亿元，市场潜力大。

    TOPCon 设备：PE-Poly 整线设备成功交付客户量产运行，局行业领先1）公司TOPCon 用PE-Poly 整线设备已在江苏润阳客户现场爬坡量产运行，该技术方案核心实现了隧穿层+Poly 层+原位掺杂层的“三合一”制备，可解决传统TOPCon 电池生产过程中绕镀、能耗高、石英件高损耗的固有难点，而且原位掺杂时间仅为传统LP 路线的五分之一。

    2）2022 年为TOPCon 行业扩产大年、是目前大多电池厂优先考虑的扩产方向（包括：晶科、天合、晶澳、中来、钧达等）。公司在PE-Poly 领域具备独创的技术领先型，有望充分受益。

    半导体设备：8 吋Cassette-less 设备导入积塔半导体，并获得重复批量订单1）据公司微信公众号，2022 年6 月公司子公司创微微电子8 吋Cassette-less 清洗设备顺利交付至上海积塔半导体有限公司并开始验证阶段，运行情况良好。

    2）创微已成功中标积塔半导体10 余台清洗设备重复订单，制程涵盖8 吋至12 吋。该批设备将用于集成电路前段湿法刻蚀、去胶、清洗以及后段金属刻蚀、有机物去除相关工艺，标志着创微在湿法清洗领域已达到国际领先水平。

    盈利预测：看好公司在光伏、半导体行业未来大发展中战略地位、未来5 年的成长性

    预计2022-2024 年归母净利润9.6/12.1/15 亿元，同比增长34%/26%/24%，对应PE 为42/34/27倍。维持“买入”评级。

    风险提示：新技术推进速度不达预期；下游扩产不及预期；下游客户坏账风险。