19 年实现业绩高增长，利润率迎来改善。公司发布2019 年业绩预告，预计19 年归母净利润1.12 亿元~1.25 亿元，同比增长245%~285%。

    2019 年前三季度毛利率33.9%，净利率11.7%。随着公司新业务逐步成熟、产品和服务进一步得到认可，利润率存在良好提升空间。

    清洗设备：订单快速增长，持续受益下游扩产。根据SEMI，2017 年全球半导体清洗设备市场32.3 亿美元。一方面，随着工艺进步，清洗设备市场前景良好；另一方面，相较于核心制程设备，清洗设备相对更容易突破，未来在国产替代方面有良好的增长空间。根据公司2018年年报，公司湿法清洗设备已经获得了中芯、万国、TI、燕东、华润等用户的正式订单，2018 年新增订单达到1700 万美元。

    高纯工艺系统：国内龙头，业务增长有支撑。一方面，公司在高纯系统主导地位进一步增强，对收入规模形成有力支撑；另一方面，公司通过在高纯系统业务积累的客户资源，有望助力清洗设备等新业务的延展，覆盖客户包括，上海华力、长江存储、合肥长鑫、士兰微、西安三星、无锡海力士、中芯国际等。根据公司2018 年年报，2018 年公司高纯工艺系统新签订单达8 亿元。

    投资建议：预计2019-2021 年收入分别为12.5/18.6/24.3 亿元，对应PS 分别为8.7/5.8/4.5 倍；EPS 分别为0.46/0.97/1.55 元/股，对应PE分别为70.9/33.6/21.1 倍。采用PS 估值方法，参考可比公司估值，给予公司2020 年8 倍PS，对应合理价值为57.5 元/股。公司高纯系统业务稳步增长，清洗设备业务逐步进入收获期、成长可期，且利润率逐步改善。结合业绩和估值情况，继续给予公司“买入”投资评级。

    风险提示：半导体行业投资进入不及预期；新业务推进不及预期；行业竞争加剧导致毛利率下滑。