投资要点：

    公司公告：1）发布2019 年报：实现收入9.86 亿元，同比增长46.34%，归母净利润1.1亿元，同比增长239.88%。2）发布2020 年一季报：实现收入1.13 亿元，同比减少2.34%，归母净利润亏损1483 万元，去年同期盈利1143 万元，扣非后归母净利润亏损1740 万元，去年同期盈利969 万元。3）发布非公开发行预案：计划募集资金不超过14.9 亿元，发行数量不超过5815.8 万股，引入北京集成电路基金、中芯涌久等共7 名战略投资者。2019年报及2020Q1 略低于预期，战略投资者引入超预期。

    高纯工艺系统稳步发展，2019 年实现收入6.37 亿元，同比下滑5.51%，毛利率26.44%，同比减少1.75pct。公司高纯业务板块已经切入国内一线用户，19 年重点在于加大对于工艺减排及产品服务化的布局，并且整合了与珐成制药模块化和数字化战略形成协同能力的广州浩鑫，加大医药板块布局。高纯工艺系统的新增业务订单总额达约人民币8.8 亿。

    2019 年公司半导体湿法清洗设备不断加大研发投入，在生产及市场方面均取得较大突破。2019 年湿法设备实现收入8166 万元，毛利率32.08%。随着半导体芯片技术节点进入28 纳米、14 纳米等更先进等级，对清洗的要求将更为严格，每个晶片在整个制造过程中需要甚至超过200 道清洗步骤，晶圆清洗变得更加复杂、重要及富有挑战性。目前清洗设备主要由日本及欧美企业提供，国产清洗设备主要有三家企业提供，合计市场份额不超过10%，具有较大的提升空间。公司从2018 年开始切入湿法设备领域，目前槽式清洗设备已经取得批量订单，并且逐步被部分国内大客户认可，形成了上海紫竹研发中心、启东工厂和日本、韩国、台湾子公司联动的高能研发及制造团队。至2019 年末，已经完成了多个工艺的8 英寸及12 英寸全自动槽式装备，8 英寸及12 英寸4 腔单片装备，12 英寸12腔先进工艺单片装备的研发及制造。2018 年订单已逐步交付中芯、万国、德州仪器、燕东、华润等客户，其中中芯6 台装备，2019 年新增业务订单金额合计1.7 亿人民币。

    2019 年3 月公司完成对波汇科技的收购，并且开始并表。2019 年光电子业务板块实现收入2.65 亿元，毛利率53.59%。波汇科技全年实现净利润6267.9 万元，扣非后为4998.41万元，完成业绩承诺（扣非归母净利润4600 万元），光电子板块的新增业务订单总额达约人民币3.7 亿。

    公司已形成围绕半导体产业的设备、材料、工艺三位一体的战略布局，维持“增持”评级。立足高纯工艺业务，拓展半导体湿法设备产品，公司启东工厂已投入使用，并且通过子公司至微半导体在合肥子公司布局晶圆再生及部件清洗业务，同时业务延伸至半导体装备相关的化学品及耗材领域，引入战投助力公司深耕半导体湿法设备。维持2020 年盈利预测，上调2021 年预测（主要上调清洗设备收入），新增2022 年预测，预计2020-2022 年净利润分别为2.72、4.31、7.58 亿元，对应PE 为37/23/13 倍，维持“增持”评级。