事件 1：公司 2020 年前三季度实现营收 7.6 亿元，同比+24.15%；归母净利润 0.83 亿元，同比+10.76%；扣非归母净利润 0.41 亿元，同比-30.08%。

    　　事件 2：10 月 30 日公司公布第三期股权激励计划，拟向 133 名激励对象授予限制性股票及股票期权总计 600 万份，占总股本的 2.31%，其中首次授予 510 万份。

    　　投资要点

    　　Q3 收入小幅下滑，在手订单逐步释放将推动后续业绩修复单三季度公司实现收入 2.39 亿元，同比-14.8%。Q3 公司收入同比小幅下滑，但受益于二季度湿法设备陆续交付并确认收入，整体来看前三季度收入实现稳定增长。我们认为在半导体设备行业景气持续，清洗设备国产替代加速的背景下，公司清洗设备产品的供需结构没有改变，只是收入确认周期带来季度间业绩的不平衡性。随着在手清洗设备订单逐步释放，将推动业绩稳步增长。

    　　单三季度归母净利润 0.52 亿元，同比+65.4%；扣非归母净利润 0.16亿元，同比-49.5%。Q3 非经常性损益达 0.37 亿元，较去年同期的 61 万增长 5860%，主要原因为间接持有的中芯国际股票带来的公允价值变动净损益达 0.42 亿元，而去年同期无此项目。

    　　Q3 毛利率大幅增长，清洗设备业务拓展致费用率小幅上升前三季度综合毛利率 35.8%，同比+1.8pct，环比+1.7pct；Q3 单季毛利率 39.5%，同比+4.5pct，环比+6.5pct，Q3 毛利率实现大幅增长，我们预计主要因为高毛利的清洗机业务开始确认收入。

    　　前三季度净利率为 10.7%，同比-0.9pct；Q3 单季净利率 22.2%，同比+10.8%。前三季度费用率为 27.4%,同比+3.8pct。其中管理费用率（含研发）17.7%，同比+2.1pct，主要系湿法设备业务板块团队继续扩容、人员成本上升所致；销售费用率 4.5%，同比+0.3pct；主要原因为公司增加了湿法设备、高纯业务等业务板块的销售力度；财务费用率 5.2%，同比+1.3pct，主要系可转债利息费用增加所致。

    　　截至 Q3 末公司合同负债达 4.9 亿元，同比大幅增长 86.2%；存货 8.7亿元。同比+26.9%。预计公司在手订单充足，将支持后续业绩增长。

    　　激励方案业绩考核彰显未来发展信心

    　　第三期股权激励计划拟向公司董事、高级管理人员、核心技术骨干共计 133 人授予权益 600 万份（占公司总股本的 2.31%）。其中包括：1）期权 557 万份（占公司总股本的 2.14%），首次授予 467 万份，行权价格为35.52 元；2）股票 43 万份（占公司总股本的 0.17%），首次授予 43 万股，授予价格 17.76 元。本次股权激励计划分三期解锁，考核目标均为 2021-2023 年归母净利润达到 1.3 亿元/1.8 亿元/2.3 亿元，解除限售比例均为30%/30%/40%，若 2023 年达成目标，则对应 2019-2023 年归母净利润复合增速为 20%。

    　　公司第三期股票激励预留股票的授予价格为 17.76 亿元，较预留权益公告前一日 32.57 元收盘价折价率约 45%，激励力度较大，将有效调动参与对象共同完成公司经营目标的积极性。同时股权激励方案的推出以及相应的业绩考核要求也彰显了公司对中长期发展的高度信心。

    　　盈利预测与投资评级：我们预计公司 2020-2022 年的净利润分别为1.34/1.83/2.56 亿，对应当前股价 PE 为 63、46、33 倍，维持“增持”评级。

    　　风险提示：半导体业务进展不及预期；毛利率波动风险。