事件：2021 年10 月29 日，公司发布2021 年三季度报告，今年前三季度营业总收入为12.83 亿元，同比增长68.71%。归母净利润1.88 亿元，同比增长127.96%，扣非归母净利润8052.68 万元，同比增长97.55%　　Q3 营收同比延续高成长，湿法设备订单大幅提高：从Q3 单季度来看，公司实现营业收入约3.62 亿元，同比增长51.68%，环比下滑52.54%；实现归母净利润约3772 万元，同比下降27.72%，环比下降50%；扣非归母净利润3789 万元，同比提高143.76%，环比接近持平。公司Q3收入同比延续高增长，环比有所下滑，其中环比下滑主要原因为受到确认节点波动影响。在订单方面，根据公司互动平台数据，截至三季报报告期内，公司湿法部门的目前订单已经超过8 亿，其中新增单片设备订单超4 亿元。根据公告，公司上半年新增湿法设备订单4.3 亿元，其中单片设备订单2 亿元，按此测算Q3 单季度新增湿法订单超3.7 亿元，其中单片设备订单超2 亿元。Q3 单季新增湿法设备订单接近上半年的体量，其中单片设备已经超过上半年体量，湿法设备发展步入加速成长期，有望成为公司业绩新增点。

    　　大基金二期入股子公司，清洗设备有望加速发展：公司子公司至微科技通过增资扩股引入了包括大基金二期、中芯聚源、装备材料基金、远致星火、芯鑫鼎橡等股东，此次战投股东名单涵盖了国内顶级的半导体投资基金，表明了市场对于公司未来发展前景的看好。通过此次增资，公司不仅增强了资金实力，还有利于公司与国内头部半导体公司加强产业合作，公司半导体清洗设备发展有望加速。

    　　湿法设备发展迅速，再生晶圆前景可期：目前市场主要的湿法设备厂商以日本和欧美为主，而国内厂商的市场占比在逐年上升。根据公告，公司已经具备生产8-12 寸高阶单晶圆湿法清洗设备和槽式湿法清洗设备的相关技术，目前已可以提供28nm 节点的全部湿法工艺设备，首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证，21H2 将有7 台套12 寸槽式设备和8 台套12 寸单片设备将交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线；14nm~7nm 技术世代已接到4 台套机台多个工艺的正式订单，将于2022 年交付至客户产线验证。再生晶圆方面，据SEMI预测， 2021 年再生晶圆市场规模会扩大到6.33 亿美元。目前硅片正片大厂19~20 年并无大规模扩产动作，供应有限。我们认为公司再生　　晶圆市场规模将会随着正片稀缺而稳步上升，成为公司新的业绩增长点。根据公告，公司合肥项目将是国内第1 条14nm 的12 寸晶圆再生产线，项目建成后，将形成年产168 万片晶圆再生和120 万件半导体零部件再生产能。已于2021 年7 月正式量产，产能爬坡后有望在2021年度贡献2 个月度的产值。

    　　投资建议：我们预计公司2021 年~2023 年的收入分别为19.84 亿元、27.18 亿元、36.69 亿元，归属上市公司股东的净利润分别为3.72 亿元、5.10 亿元、6.73 亿元，对应EPS 分别为1.17 元、1.60 元、2.11元，维持“买入-A”投资评级。

    　　风险提示：先进制程工艺突破不达预期的风险；进口零部件渠道受阻的风险；出货放量不达预期的风险；股东解禁减持的风险。