公司2021 年实现营业收入20.84 亿元，同比增长49.2%；实现归母净利润2.82 亿元，同比增长8.1%；每股收益为0.89 元。
2022 年一季度公司实现营业总收入5.48 亿元，同比增长137%；归母净利润2189 万元，同比下降70.8%。
半导体设备高速增长，泛半导体业务布局初见成效
2021 年公司实现营业收入20.84 亿元，同比增长49.2%，实现归母净利润2.88 亿，同比增长8.1%，扣非归母净利润1.62 亿，同比增长46.57%。
2021 年公司高纯工艺系统集成营业收入10.78 亿元，同比增长24.86%，占主营业务收入比例约50%；半导体清洗设备营业收入7.01 亿元，同比增长222.06%，占主营业收入比例为33.64%；光电子营业收入3.03 亿，同比下滑3.72%。
2021 年公司核心业务是泛半导体业务，其中高纯工艺系统集成是公司起家的核心业务，近年维持稳健快速增长。半导体设备是公司近年大力投入拓展的核心业务，2021 年半导体设备业务营业收入7.01 亿，同比增长222.06%，增长强劲，在手订单饱满，未来仍有望成为公司核心增长点。公司通过可转债和定增切入半导体清洗的下游晶圆再生业务，今年预计将开始发力贡献收入，未来有望成为第二增长点。公司通过多年布局，泛半导体业务涉及半导体产业多个环节，已经初见成效。
公司泛半导体业务毛利率小幅上升
2021 年度公司整体销售毛利率36.19%，同比下滑0.6pct，主要原因是产品结构变化造成的，公司半导体设备业务增长快，毛利率相对较低，仍处于业务开拓和量产阶段，其次是高毛利率的光电子业务增速不佳。
2021 年公司整体净利率13.64%，同比下降近5 个pct。
2021 年公司加权ROE 为8.1%，比去年下滑近8pct。公司加权ROE 下滑较多主要原因是因为公司净资产快速增长，因为去年有较大的公允价值变动受益导致2021 年归母净利润增速不高，拖累了加权ROE 水平。
公司高纯工艺系统集成毛利率34.71%，同比上市2.95pct,半导体设备毛利率32.48%，同比提升2.63pct，泛半导体业务毛利率均小幅上升2 个pct以上。光电子业务毛利率50.43%，下滑4.92pct。
在手订单高速增长，半导体设备已获14nm 订单，订单饱满
公司半导体设备业务高速发展，持续在已有用户端得到重复订单，并持续开拓新用户。2021 年，公司拿到13 位用户的重复订单，期间又开拓了10 位新用户，均为行业内主要的晶圆制造企业。
公司湿法设备已经在数个成熟工艺的产线上拿到了整条线的设备订单，有效替代了之前的两家日本厂商；公司还在氮化镓和碳化硅产线上拿到了整条线的湿法设备订单；公司在先进制程的28 纳米节点获得全部工艺的设备订单；在14 纳米以下制程也拿到了4 台湿法设备订单。2021年度是公司布局湿法设备以来取得一系列高速增长的年份，是前几年耕耘的华实之始。2021 年公司的单片湿法设备和槽式湿法设备全年出机超过了97 台。 同时12 英寸湿法设备新增订单金额超过6 亿元，其中单片式湿法设备新增订单金额超过3.8 亿元。2021 年，公司子公司至微科技成功引入大基金二期、中芯聚源等战略投资者，助力业务加速发展。
2021 年度公司新增订单总额为32.30 亿元，同比增长64.80%，其中半导体设备新增订单11.20 亿元，同比增长111.32%。
公司一季报披露2022 年 1-4 月公司新增订单 18.02 亿元，其中半导体湿法设备新增订单 6.31 亿元
公司半导体设备订单非常饱满，助力公司业绩增长无忧。
晶圆再生业务有望达产，开始贡献第三增长点
公司在合肥布局晶圆再生及部件清洗项目，目前已通线试产，是国内首条投产的12 英寸晶圆再生产线，部件清洗项目为国内首条设立完整的阳极产线。
合肥的工厂同时配置了为用户做湿法的工艺验证和工艺开发的联合实验室，测试设备完全对标晶圆厂，为工艺开发打好了基础。该项目采用Fab等级机台与环境, 流程均依照 Fab 高标准执行, 质量有保证，能够做到工艺移除量低, 对晶圆损伤小, 可以延长寿命。其优势在运输费用低, 不需出口报关，快捷方便, 客户不用积压大量晶圆及零部件，提高周转率。
该项目以14 纳米晶圆厂需求为设计基础，将服务于中国半导体高阶市场。该产线年产168 万片晶圆再生和120 万件半导体零部件再生产能。
晶圆再生业务是公司从设备到材料端的重要布局，也是公司半导体业务的重要组成，晶圆再生业务开始达产，有望成为公司第三增长点。
盈利预测与估值
鉴于公司扎根泛半导体业务多年，在高纯工艺系统集成优势明显，半导体清洗设备多次获一线新老客户复购和认可，订单饱满业绩释放在即，另外，公司募投项目晶圆再生业务有望发力，成为第三增长点。我们预测公司2022 年-2024 年营业收入分别为30.34 亿、39.97 亿、49.27 亿，归母净利润分别为3.91 亿、5.25 亿、6.57 亿，对应的PE 分别为29.05X、21.68X、17.3X，首次覆盖，给予“增持”评级。
风险提示：1：宏观经济不及预期；2：下游行业需求不及预期；3：原材料价格上涨，下毛滑利；率4：晶圆再生业务拓展不及预期。