本报告导读：

    　　公司披露最新订单情况，总额为23.62亿元，同比增长37.33%，其中半导体制程设备新增订单8.06 亿元，继续保持高增速。

    　　投资要点：

    　　维持增持评级。公 司22H1 新增订单同比保持较好水平，其中半导体制程设备维持高增速，且半导体相关业务继续保持高比例，看好公司未来半导体相关业务不断放量。考虑到22 年疫情及原材料价格较高等因素，下调22-23 年EPS 至1.23（-0.05）、1.64（-0.05）元，新增24 年EPS2.11 元，维持目标价57.41 元，增持。

    　　半导体板块驱动业绩高增，22 年经营预期未受疫情影响。21 年公司实现营业收入20.84 亿元，高纯工艺集成系统、半导体设备分别实现收入10.78亿/+24.86%、7.01 亿元/+222.06%，22 年Q1 实现收入5.48 亿/+137%，主要来自半导体板块。从疫情影响上看，根据公司互动平台披露，疫情对半年报预期基本无影响。

    　　半导体板块新接订单占比超82%，制程设备订单继续近翻倍增长。21年H1 公司整体新签订单17.2 亿，其中半导体板块新增订单14.2 亿，占比为82.6%，22 年H1 占比维持高位，达到82.5%。制程设备上，21 年H1 公司新增订单4.3 亿，22 年H1 达到8.06 亿，继续保持近翻倍增长的态势。

    　　国内半导体设备需求旺盛，下半年有望迎来订单高峰期。虽然全球半导体需求低迷，但国内半导体设备市场依然旺盛，按照国内未来三年每年新建40 万片/月产能计算，湿法设备每年采购需求在150-200 亿人民币，公司产品有较大市场空间。下半年，随着长存二期、长鑫二期等需求增加，半导体设备行业有望进入订单高峰期。

    　　风险提示：下游资本开支不及预期