事件：公司发布2 022三季报。

    半导体清洗设备订单加速确认，Q3 收入端超市场预期2022Q1-Q3 公司实现营业收入19.25 亿元，同比+50.13%，其中Q3 实现营业收入8.06 亿元，同比+122.51%，环比+40.78%，Q3 单季度收入同环比均大幅提升，超过我们先前预期。这一方面系高纯工艺业务收入季节波动较大，Q3 订单加速确认；另一方面系半导体清洗设备持续快速交付，我们预计Q3 单季度收入超过3 亿元，前三季度半导体清洗设备收入已经超过2021 年全年水平，有力的支持了公司单季度收入快速增长。订单方面，2022 年1-9 月公司新增订单总额为36.21 亿元，我们判断半导体清洗订单超过10 亿元。2022 年半导体清洗设备订单有望达到20 亿元，我们预计全年新增订单总额将超过先前指引40 亿元，充足的订单将支撑公司收入持续高速增长。

    费用率大幅下降对冲毛利率负面影响，Q3 盈利水平稳中有升2022Q1-Q3 公司实现归母净利润1.63 亿元，同比-13.55%，其中Q3 实现归母净利润0.81 亿元，同比+115.60%，Q3 实现扣非后归母净利润0.88 亿元，同比+133.25%，Q3 单季度利润超预期。2022Q3 销售净利率和扣非后归母净利率分别为10.06%、10.97%，分别同比+0.02、+0.51pct，盈利水平稳中有升。1）毛利端：2022Q3 销售毛利率为34.63%，同比-12.26pct，我们推测主要系产品结构变化所致，毛利率大幅下降对公司净利率起到压制作用。2）费用端：2022Q3 公司的期间费用率为19.36%，同比-10.27pct，对单季度盈利水平起到显著的正向作用，其中销售、管理、财务、研发费用率分别同比-3.07、-7.45、+1.45、-1.64pct，销售费用率和管理费用率下降主要系规模效应，研发费用率提升主要系公司积极拓展半导体领域业务，相关技术研发投入、业务支出明显增长。展望未来，随着半导体清洗设备毛利率持续爬坡以及费用端的规模效应进一步凸显，公司盈利水平仍有望进一步提升。

    半导体清洗设备充分受益进口替代，布局耗材&服务打开成长空间公司半导体清洗设备已在28 纳米节点获得全部工艺的设备订单，在 14 纳米以下制程也拿到 4 台湿法设备订单，国产替代驱动下，有望延续快速发展。此外公司也积极布局耗材&服务，进一步打开成长空间。1）晶圆再生：全球晶圆再生产能高度集中于日本和中国台湾，公司领域布局较早，合肥一期产能7 万片/月已经投产，是国内首条投产的 12 英寸晶圆再生产线，预计2023 年达产；二期规划产能14 万片/月，正在投资建设中，先发优势明显。2）大宗气体：公司高纯工艺系统主业的纵向延伸，二者客户端协同性较强。公司正在投资建设半导体级的大宗气体工厂，为用户提供至少15 年的高纯大宗气体整厂供应。3）零部件：我们预估2021 年中国大陆半导体设备零部件市场规模约117 亿美元。2021 年公司可转债募投项目拟募集11 亿元，重点加码半导体设备零部件研发&制造业务，在垂直整合降本的同时，将逐步打开后服务市场，同时有望单独外售，将成为后续发展重点。

    盈利预测与投资评级：考虑到公司在手订单充足，我们维持2022-2024 年归母净利润预测分别为3.81、5.57 和7.42 亿元，当前市值对应动态PE 分别32、22 和17 倍，维持“买入“评级。

    风险提示：新产品研发不及预期，订单客户突破不及预期等。