公司发布2021 年一季度报告，实现营业收入6.03 亿元，同比增长46.24%，归属于上市公司股东净利润1.38 亿元，同比增长425.36%，归属于上市公司股东扣非净利润为0.11 亿元，扭亏为盈。每股收益为0.26 元，同比增长420.00%。毛利率为40.92%，比上年同期上升了7.06 个百分点。

    　　支撑评级的要点

    　　收入结构稳定，毛利率显著提升。2021 年一季度，公司实现营业收入6.03亿元，同比增长46.24%，其中得益于半导体行业高景气和公司产品的竞争优势，刻蚀设备收入为3.48 亿元，同比增长约63.75%；MOCVD 设备收入为1.33 亿元，同比增长76.85%，均实现显著增长，同时刻蚀设备收入占58%，MOCVD 设备收入占22%，收入结构稳定。归属母公司股东净利润为1.38 亿元，同比增长425.36%，主要系毛利率40.92%较上年同期增长约7.06 个百分点，政府补助较上年同期增加约1.43 亿元；本期股份支付费用、职工薪酬、研发耗材增加导致期间费用同比大幅增加，但归属母公司股东扣非净利润对比上年同期扭亏为盈，创历史新高。

    　　刻蚀工艺继续推进，研发成果产业化效果显著。2021 年一季度公司研发投入为0.86 亿元，同比增长97.99%，占营业收入比例为23.32%，比上年同期增加了5.79 个百分点，研发力度显著增强。2020 年底在研项目包括但不限于适用于128 层以上的3D NAND 的CCP 刻蚀设备、适用于逻辑芯片和存储芯片的ICP 14-7nm 刻蚀设备产业化和适用于Mini -LED 的MOCVD设备等，且公司的12 英寸高端刻蚀设备已在5nm 芯片生产线上运用、3nm刻蚀机Alpha 原型机的工艺开发和评估也已经完成，进一步提升公司的刻蚀设备竞争力。公司新的单反应台ICP 刻蚀设备 Primo nanova　　产品已有超过 50 项工艺在10 家客户的生产线上达到指标要求，并取得客户的重复订单。公司研发的高输出双反应台 ICP 刻蚀设备 Primo Twin-Star　　也在客户端完成认证。

    　　积极践行外延式发展，探索新业绩增长点。公司积极探索布局包括健康领域在内的新业务，已投资光学检测设备、化学薄膜、太阳能电池设备、环保设备、光学镀膜等领域的企业，积极参与公司决策，整体情况向好。

    　　盈利预测和投资建议

    　　维持2021-2023 年公司净利润分别为4.46/7.50/9.55 亿元的预测，维持买入评级。

    　　评级面临的主要风险

    　　行业景气度高导致设备零部件采购周期拉长；权益工具投资的公允价值变动风险等。