营收&业绩稳健增长，薄膜产品持续放量：2025 年公司营收为123.9 亿元，同比+36.6%，其中刻蚀设备收入98.3 亿元，同比+36.6%，LPCVD 设备收入5.1 亿元，同比+224.2%；归母净利润为21.1 亿元，同比+30.7%，扣非净利润15.5 亿元，同比+11.6%。Q4 单季营收43.2 亿元，同环比+21.5%/+39.3%；归母净利润为9.0 亿元，同环比+28.1%/+78.2%，扣非归母净利润为6.6 亿元，同环比+13.8%/+88.6%。

    　　公司毛利率略降，研发投入&效率大幅提升：2025 年公司综合毛利率为39.2%，同比-1.9pct；销售净利率为16.7%，同比-1.1pct；扣非净利率为12.5%，同比-2.8pct。期间费用率为27.5%，同比+2.2pct，其中销售费用率为4.0%，同比-1.3pct，管理费用率为3.9%，同比-1.5pct，财务费用率为-0.4%，同比+0.6pct，研发费用率为20.0%，同比+4.3pct；期间公司研发投入37.4 亿元，同比+52.7%。Q4 单季毛利率为39.3%，同比持平/环比+1.4pct；销售净利率为20.4% ， 同环比+0.7pct/+4.5pct ； 扣非净利率为15.3% ， 同环比-0.9pct/+4.1pct。

    　　存货&合同负债稳步增长，在手订单充足：截至2025Q4 末公司合同负债为30.4 亿元，同比+17.7%；存货为71.7 亿元，同比+1.9%。2025 年公司经营性现金流为23.0 亿元，Q4 单季为10 亿元，现金流稳定。

    　　平台化布局持续推进，将覆盖刻蚀、薄膜、量检测等核心工艺：（1）刻蚀设备：①CCP 设备：60 比1 超高深宽比介质刻蚀设备成为国内标配设备，量产指标稳步提升，下一代90 比1 超高深宽比介质刻蚀设备即将进入市场。②ICP 设备：适用于下一代逻辑和存储客户用ICP 刻蚀设备和化学气相刻蚀设备开发取得了良好进展。③高选择比设备：于2026 年SEMICON发布Primo Domingo 高选择比刻蚀设备，充分适配下一代GAA 逻辑、3DNAND 及DRAM 的高选择比刻蚀需求。（2）薄膜沉积设备：LPCVD、PECVD、ALD、EPI 等多款薄膜设备已经顺利完成多个先进逻辑、存储客户验证，陆续进入量产；公司同步推进多款CVD、ALD、PVD 开发，持续推进薄膜产品覆盖率。（3）量检测设备：成立子公司超微公司引入电子束检测设备领军人才，电子束检测设备有望加速落地。

    　　收购杭州众硅，切入湿法CMP 领域：拟通过发行股份方式购买杭州众硅，最终交易价格为15.7 亿元。众硅12 寸大硅片设备已批量交付国内头部厂商，技术实力强劲，本次收购旨在提升中微在成套工艺方案与全流程覆盖方面的竞争力；众硅承诺公司2026-2028 年分别实现并表营收2.8/4.3/5.8 亿元。

    　　盈利预测与投资评级：考虑到下游半导体厂商验证周期较长，我们调整公司2026-2027 年归母净利润为27.3（原值34.1）/34.6（原值44.6 亿元），预计2028 年归母净利润为42.6 亿元，当前市值对应动态PE 分别为73/57/47倍，考虑到下游晶圆厂资本开支持续增长、公司平台化持续推进，维持“买入”评级。

    　　风险提示：晶圆厂扩产节奏不及预期，新品研发&产业化不及预期等。