投资要点：

    业绩符合预期，期待下半年订单表现：公司2020 年上半年实现营收0.62 亿元，同比下降6.8%，主要系受疫情影响，发出商品安装验收滞后所致；实现归母净利润0.06 亿元，同比增加121.7%，主要由于公司收到地方政府上市补贴款；公司实现毛利率44.0%，同比下降7.4pct；公司销售和管理费用相较去年同期有所上升，主要系公司持续加大前道产品市场开拓力度及人员薪酬支出增加所致。公司经营性现金流净额为-0.56 亿元，同比上年同期-0.13 亿元有所下降，主要原因是本报告期公司生产原材料采购额扩大；公司预付款项0.12亿元，同比去年增加63.1%；存货2.88 亿元，同比增加88.9%，主要系公司业务规模扩大，采购量增加影响所致，或预示公司订单情况较好。

    涂胶显影和湿法设备多点布局，下游应用市场不断打开：公司生产的光刻工序涂胶显影设备与单片式湿法设备，已经从传统的先进封装领域、LED 领域拓展到MEMS、化合物、功率器件、特种工艺等领域，截至目前已累计销售800 余台套，已作为主流机型应用于台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、华灿光电、乾照光电等国内一线大厂，随着下游应用领域不断开拓，公司成长天花板有望不断提升。

    研发投入持续加大，前道国产替代空间广阔。公司2020 上半年研发投入金额为0.14 亿元，占营业收入比重22.8%，同比提高2.6pct。

    据VLSl，全球前道涂胶显影设备销售额由2013 年的14.07 亿美元增长至2018 年的23.26 亿美元，预计2023 年将达到24.76 亿美元。

    中国大区（含中国台湾地区）前道涂胶显影设备销售额由2016 年的8.57 亿美元增长到2018年的8.96 亿美元，预计2023年将达到10.26亿美元。目前，TEL 在中国大陆涂胶显影设备市场中的市占率约超过90％，芯源微的市场份额占比仍然较低。公司生产的前道涂胶显影设备通过在客户现场的验证与改进，在多个关键技术方面取得突破，技术成果已应用到新产品、新客户。截至目前，已陆续获得了上海积塔、株洲中车、青岛芯恩、中芯宁波、中芯绍兴、昆明京东方、厦门士兰集科等多个前道大客户的订单。公司生产的前道SpinScrubber 清洗机设备已在中芯绍兴、华力集成等多个客户处通过工艺验证，截至目前已获得国内多家晶圆厂商的重复订单。随着公司技术和市场端的不断突破，在国产替代趋势下，公司未来将具备广阔的成长空间。

    维持“买入”评级。预计公司2020-2022 年营业收入分别为2.87 亿元、3.87 亿元、5.34 亿元，归母净利润分别为0.55 亿元、0.81 亿元、1.24 亿元，对应当前股价，动态PE 分别为180、122、80 倍。考虑到公司在国产半导体设备的涂胶显影细分领域的重要地位，维持“买入”评级。

    风险提示：公司研发进度不及预期、前道设备市场开拓程度不及预期、后道设备市场应用市场发展不及预期。