投资要点：

    　　维持“增持”评级，维持目标价170.55 元。参考公司2020 年业绩预告对应EPS 区间为0.56~0.64 元（低于前次预测的原因主要是股权激励费用的影响），我们调低2020-2022 年EPS 预测为0.60/1.20/1.98 元（前次预测为0.87/1.27/2.07 元）。参考可比公司估值给予其2021 年26倍PS，维持目标价170.55 元，维持增持评级。

    　　前道清洗设备：物理清洗全国第一，相关订单翻倍增长。a)订单：2018年中标2 台，2019 年4 台，2020 年9 台，2021 年1 月3 台。b)地位：

    　　统计华力微等6 条产线订单，其清洗设备份额约6%。其在物理清洗领域国内第一，基本覆盖内资产线全部工艺，并积极研发化学清洗设备。

    　　前道涂胶显影设备：IC 领域唯一本土厂商，2H21 有望突破28nm 制程实现市场全覆盖。a)订单：2018 年中标2 台，2020 年6 台。b)地位：

    　　通过统计内资产线订单，公司前道涂胶显影设备份额达13%，在offline领域份额预计超过20%。在Barc、i-line、ArF、KrF 已通过晶圆产线工艺验证，2021 年进入批量订单采购阶段。2H21 有望突破28nm 制程研发出货，实现涂胶显影设备20 亿美金市场全覆盖。

    　　除了前道IC 设备，公司作为台积电及华天等先进封测主力供应商（份额超过50%），深度受益行业高增长态势。其大客户台积电、华天等的封装产能持续扩产。而其作为先进封装设备绝对龙头，封测领域涂胶显影和湿法设备在大陆市场占比超过50%，未来将深度受益。

    　　风险提示。中美贸易摩擦的不确定性；产线中设备验证不及预期