投资要点：

    前三季营收8.97 亿元，同比增长63.87%；归母净利润1.43 亿元，同比增长169.42%；扣非净利润0.99 亿元，同比增长116%。营收及扣非净利润符合预期。

    半导体设备行业景气度持续向好，公司收入规模、利润持续增长。2022Q3 营收3.92 亿元，同比增长99.93%；归母净利润0.74 亿元，同比增长308.63%；扣非净利润0.33 亿元，同比增长104%。Q3 毛利率40.06%，同比提升2.6pct，环比基本持平；3Q22 期间费用及费用率基本保持平稳。

    3Q22 获赔偿金4000 万元，增厚非经常性损益。A 公司就其侵犯芯源微商业秘密的行为自愿作出现金赔偿共计6000 万元，已支付4000 万元侵权赔偿金，计入“营业外收入”

    科目，体现为“非经常性损益”。受此影响，3Q22 净利率18.76%，同比提升9.6pct。

    3Q 合同负债6.04 亿元，环比略减0.24 亿元，主要由于本期确认收入较新增订单有所加速。资产负债率41%，剔除预收账款后的资产负债率为29%，仍处于健康状态。

    全球前道涂胶显影设备销售额由2013 年的14.07 亿美元增长到2020 年19.05 亿美元，预计到2022 年有望超过25 亿美元，中国大区在全球涂胶显影销售额比重预计维持在40%左右。在光刻工序涂胶显影设备领域，全球范围内日本东京电子（TEL）一家独大，市场份额接近87%，芯源微作为国内领先的涂胶显影设备生产企业，有望打破垄断格局。

    全球前道涂胶显影设备销售额由2013 年的14.07 亿美元增长到2020 年19.05 亿美元，预计到2022 年有望超过25 亿美元，中国大区在全球涂胶显影销售额比重预计维持在40%左右。在光刻工序涂胶显影设备领域，全球范围内日本东京电子（TEL）一家独大，市场份额接近87%，芯源微作为国内领先的涂胶显影设备生产企业，有望打破垄断格局。

    清洗设备是国产化比例有望快速提升的赛道。全球半导体清洗设备市场将呈逐年增长的趋势，中国大区2023 年将达到8.26 亿美元，占全球市场需求比重约27%。行业集中度高，以日系厂商为主，国内布局清洗设备的企业主要包括盛美上海、至纯科技、芯源微、北方华创，参与企业较多，有望快速提升国产比例。

    调整盈利预测，维持“买入”评级。由于获赔偿金收入，将2022/2023 年归母净利润从1.45/2.10 亿元上调至1.77/2.11 亿元，新增2024 年预测3.29 亿元，维持“买入”评级。

    风险提示：需求低于预期影响晶圆厂扩产节奏；设备验证结果不达预期等因素，导致订单进展不达预期；上游原材料采购周期延长，影响设备交付时间及收入确认节奏。