事件：公司公告2022 年前三季度实现营收8.97 亿元，同比增长64%；归母净利润1.43 亿元，同比增长169%；实现扣非归母净利润0.99 亿元，同比增长116%。

    公司Q3 实现营收3.92 亿元，同比增长100%；归母净利润0.74 亿元，同比增长309%；实现扣非归母净利润0.33 亿元，同比增长104%。

    公司营收高速成长，合同负债保持较高水平。随着公司产品的规模化效应体现，公司Q3 毛利率达40.1%，环比表现稳定。公司继续保持高强度研发，Q3 研发费用率为13.3%。受益于行业景气度向好及前期订单的交付，公司营收取得高速增长。

    公司Q3 合同负债环比有小幅下降，但仍保持在较高水平。

    前道涂胶显影设备技术领先。目前公司的前道涂胶显影设备在28nm 及以上工艺节点的多项关键技术方面取得突破；目前，公司的offline、I-line、KrF 机台均实现了批量销售。公司开发的前道涂胶显影机的高产能架构满足了光刻机不断提升的产能需求，而我们预计此架构将带动涂胶显影机价值量的提升。近期，公司公告收到A 公司分两期支付的商业秘密维权赔偿金共计4000 万元，反映了公司在涂胶显影设备领域的技术领先性。

    公司后道设备地位稳固。公司的后道涂胶显影设备和单片式湿法设备部分技术已领先于国际知名企业，目前作为主流机型已批量应用于台积电、长电科技等一线厂商，且未来将持续开拓中国台湾以及海外市场。

    化学清洗设备将拓展成长空间。公司前道物理清洗机在自动刷压控制技术上已达到国际先进水平。公司的单片式湿法设备在持续研发阶段，目前处于制造样机进行工艺验证阶段。半导体清洗设备产品的顺利拓展将打开成长空间。公司临港研发及产业化项目于今年8 月开工建设，项目建设期为30 个月，将助力未来高端涂胶显影和清洗设备的研发与生产。

    投资建议：我们预计公司2022/2023/2024 年营收13.46/20.18/28.15 亿元，对应PS 分别为17/11/8 倍，归母净利润分别为1.85/2.50/3.68 亿元，对应PE 分别为125/92/63 倍。公司作为半导体设备细分领域龙头，具有较好成长性，维持“买入”

    评级。

    风险提示：公司新产品研发进度不及预期、下游晶圆厂扩产放慢、竞争加剧风险。