Q3 营收符合预期，利润水平超预期。公司前三季度实现营收近9 亿元，同比增64%，实现归母净利润1.4 亿元，同比增169%。其中第三季度公司实现营业收入3.9 亿元，同比增100%， 实现归母净利润0.74 亿元，同比增309%，部分受益于收到A 公司支付的商业秘密维权赔偿金0.4 亿元，扣非归母净利润0.33 亿元，同比增104%，三季度毛利率40.1%，相比二季度变化幅度较小。

    前道涂胶显影机：I-line、KrF 产品实现批量销售，ArFi 产品有望逐步贡献成长新动能。市场开拓进展顺利：随着公司前道涂胶显影机各项技术的突破与进步，前道涂胶显影机产品竞争力不断增强，客户认可度持续提升。I-line、KrF 机台获得了多家头部晶圆厂的小批量重复订单，客户涵盖中芯京城、上海华力、长江存储、合肥长鑫、厦门士兰集科等国内主流客户。工艺技术持续取得突破：光刻胶涂覆缺陷及成本控制技术、在线式工艺缺陷检测技术均达到国际先进水平。产品平台不断迭代升级，拓宽护城河：公司在前道涂胶显影机的高产能架构方面推进顺利，已应用完全自主知识产权的创新平台，通过工艺单元双侧对称布置及机械手双侧同时取片，满足光刻机不断提升的产能需求，并可覆盖浸没式等前沿光刻技术并向下兼容。

    前道清洗机：物理清洗机达到国际先进水平，化学清洗机研发进展顺利。公司生产的集成电路前道晶圆加工领域用物理清洗机 Spin Scrubber 设备已经达到国际先进水平并成功实现国产替代，获得了中芯国际、上海华力、青岛芯恩、武汉新芯、北京燕东等多个前道大客户的批量重复订单，国内市场占有率稳步提升。化学清洗领域，公司正研究解决湿法设备关键技术，制作样机进行工艺验证，进一步优化单元和整机设计，提高产品的可靠性、稳定性，进一步提升产品的技术等级和应用范围。

    持续完善销售、技术服务网络，业务拓展有望继续加速。公司以沈阳为销售总部，在上海建立了全资子公司，将实现 靠近客户、靠近人才、靠近供应链的战略目标。

    同时公司在苏州、昆山、武汉、中国台湾等地设有办事处，销售网络覆盖长三角、珠三角及中国台湾地区等产业重点区域，建立了快速响应的销售和技术服务团队。

    我们预测公司22-24 年归母净利润分别为1.86、2.45、3.75 亿元（原22-24 年预测为1.40、2.37、3.54 亿元，上调了营业外收入和毛利率、管理费用率假设），由于前道涂胶显影设备国产化空间巨大，我们采用绝对估值法（FCFF），给予325.82元目标价，维持买入评级。

    风险提示

    半导体设备行业景气度不及预期；客户验证进展不及预期；零部件断供风险；盈利能力改善不及预期；市场份额提升不及预期。