事件：芯源微发布2022 年三季报：公司前三季度实现营收为8.97 亿元，同比增长63.87%；归母净利润1.43 亿元，同比增169.42%；扣非归母净利润0.99亿元，同比增长116.00%；

    　　业务规模加快扩张，毛利率稳定：受益于旺盛的半导体设备需求，公司2022Q3 单季实现营收3.92 亿元，同比增速近100%，明显快于今年第一、第二季度。在业务规模高速扩张的同时，公司毛利率水平继续保持稳定，Q3 单季度毛利率40.06%，环比基本持平。

    　　公司在手订单充裕，显影涂胶产品放量：公司2022 年第三季度末合同负债金额6.04 亿，同比增长110%，在手订单较为充裕，前道产品交期已排到明年。公司涂胶显影机offline、I-line、KrF 设备全部实现批量销售并正在快速放量。公司生产的前道涂胶显影设备已陆续获得中芯京城、上海华力、长江存储、合肥长鑫、武汉新芯、厦门士兰集科、上海积塔、株洲中车、青岛芯恩、中芯绍兴、中芯宁波、昆明京东方等多个前道大客户的订单，并得到部分客户的高度认可。

    　　持续投入力争ArF 产品突破：针对未完全掌握的ArF 显影涂胶技术，公司高额进行研发投入，2022 年前三季度累计研发投入0.95 亿，其中第三季度单季投入0.52 亿。公司的新上海临港厂区已于2022 年8 月5 日动工，用于生产前道ArF 涂胶显影机。充足的研发支出和配套生产设施的建设有望保障高端ArF 设备顺利投产，进一步提升公司的技术和利润水平。

    　　投资建议：综合考虑公司的客户分布、在手订单情况、新技术的研发进展，我们预计公司2022-24 年营收为13.18/18.67/24.69 亿元，归母净利润分别为1.62/2.41/3.25 亿元，对应PE 为147.4/99.2/73.7 倍，给予“增持”评级。

    　　风险提示：半导体市场下行周期叠加海外供应风险，国内晶圆厂设备采购放缓；高端产品研发进度不及预期；行业竞争加剧。