事件：公司发布 2022年业绩预告。

    小尺寸稳步增长&前道产品快速放量，2022 年收入端实现快速增长2022 年公司实现营业收入13.00-14.20 亿元，同比+57%-71%；其中Q4实现营业收入4.03-5.23 亿元，同比+43%-185%。基本符合我们预期。公司2022 年收入端实现高速增长，受益于公司在保持小尺寸（如 LED、化合物半导体等）及集成电路后道先进封装领域产品收入稳步增长的同时，集成电路前道晶圆加工领域产品收入也实现快速放量。截至2022Q3 末，公司存货和合同负债分别达到12.87 和6.04 亿元，分别同比+51.46%和+109.75%，验证在手订单高增长。在订单高增长的基础上，公司产品结构也在快速优化，我们预计2022 年新签订单中前道涂胶显影、物理清洗设备订单占比合计超过50%。展望2023 年，随着在手订单陆续交付，我们预计公司在收入端有望延续高速增长态势。

    2022 年利润端实现翻倍增长，盈利水平明显提升2022 年公司实现归母净利润1.75-2.10 亿元，同比+126%-171%；其中Q4 实现归母净利润3197-6697 万元，同比+32%-176%。2022 年实现扣非归母净利润1.20-1.50 亿元，同比+88%-135%；其中Q4 实现扣非归母净利润2087-5087 万元，同比+16%-183%。若以业绩预告中位数为基准进行测算，2022 年公司归母净利率和扣非归母净利率分别为14.2%和9.9%，分别同比+4.8pct 和+2.2pct，盈利水平有明显提升，我们判断一方面受益于产品结构改善，毛利率有所提升，另一方面受益于规模效应下期间费用率下降。

    高端ArFi 新品推出，前道产品不断丰富打开成长空间2022 年12 月17 日，公司正式发布前道浸没式高产能涂胶显影机新品FT（III）300， 该款机型通过选配可全面覆盖KrF、ArF dry、ArF 浸没式等多种光刻技术，也适用包括SOC、SOH、SOD 等在内的其他旋涂类应用。公司Off-line、I-line、KrF 机台均实现批量销售，前道涂胶显影机新签订单规模同比大幅增长，其中I-line、KrF 涂胶显影机获得了多家头部晶圆厂的小批量重复订单，随着高端涂胶显影机新品推出，将彻底打开公司在涂胶显影领域的成长空间。前道涂胶显影国产化率较低，且公司存储客户占比较低，我们预计2023 年公司新接前道涂胶显影订单有望延续高速增长态势，预计好于行业增速。在清洗设备领域，公司前道SpinScrubber 单片式物理清洗机已较为成熟，成功实现进口替代，2021 年募投项目加码市场空间更大的单片式化学清洗机，有望成为第二成长曲线。

    盈利预测与投资评级：考虑到公司在手订单饱满，我们维持2022-2024年营业收入预测分别为13.56、19.35 和27.17 亿元，当前市值对应动态PS 分别为13、9 和7 倍。基于公司的高成长性，维持“增持”评级。

    风险提示：半导体行业投资下滑，新品研发&产业化不及预期等。