事件概述：

    公司发布2022 年业绩预告：预计实现年收入为13.00 亿元-14.20 亿元，同比增长+56.88%至+71.36%，实现归母净利润1.75 亿元-2.10 亿元，同比增长+126.25%至+171.49%。根据测算，公司2022 年Q4 预计实现营业收入为4.03 亿元-5.23 亿元，同比增长+43.28%至+85.91%，环比增长+2.77%至+33.35%，实现归母净利润为0.32 亿元-0.67 亿元，同比增长+31.82%至+176.09%，环比为-56.56%至-9.02%。

    前道设备快速放量，大客户持续突破

    公司22 年营收实现大幅增长，系新签订单规模同比大幅增长，在保持小尺寸及集成电路后道先进封装领域产品收入稳步增长的同时，集成电路前道晶圆加工领域产品收入也实现快速放量：1）前道涂胶显影设备，offline、I-line、KrF 机台均实现批量销售；2）前道物理清洗设备，2022 年获得中芯国际、上海华力、青岛芯恩、武汉新芯、北京燕东等国内多个前道大客户的重复订单；3）后道先进封装相关设备，已成为台积电、长电科技、华天科技等国内一线大厂的主力量产设备，正处于持续出货中；4）小尺寸设备，目前作为主流机型已批量应用于三安光电、中芯宁波等国内大客户，报告期内公司在手订单饱满。22 年Q4归母净利润中值为0.50 亿元，环比为-32.76%，系公司Q3 拥有0.4 亿元司法胜诉赔偿金，扣非后Q3 归母净利润为0.34 亿元，22 年Q4 经营净利润环比增长46%。

    28nm 技术取得突破，成长动能强劲

    1）22 年公司在涂胶显影28nm 技术上取得重要突破：公司的光刻胶涂覆缺陷及成本控制技术、在线式工艺缺陷检测技术均达到国际先进水平；高产能架构方面也取得相应进展，未来可覆盖浸没式等前沿光刻技术；2）前道设备进入快速放量期：上半年公司前道涂胶显影机新签订单规模同比大幅增长，已陆续获得了中芯京城、上海华力、长江存储、合肥长鑫、武汉新芯、厦门士兰集科等主要晶圆厂客户的订单。前道物理清洗机在自动刷压控制技术上已达到国际先进水平，前道物理清洗国内市占率稳步提升；3）后道设备市场地位进一步巩固：后道涂胶显影设备和单片式湿法设备已批量应用于台积电、长电科技等海内外头部封测厂。

    临港项目有序进行，28nm 涂胶显影设备正式发布1）临港项目有序进行：公司募投项目上海芯源微临港生产基地，已于22H1 完成了整体设计和土地打桩，工程建设仍在进行中，预计春节前完成各个单体建筑的结构封顶。项目达产后主要生产前道ArF 涂胶显影机、浸没式涂胶显影机、单片化学清洗机等高端设备；2）28nm 涂胶显影设备正式发布：公司22 年12 月推出新一代浸没式涂胶显影机，该机型可在复杂光刻工艺下实现300 片以上产能，同时可匹配所有主流光刻机联机量产，通过选配覆盖国内28nm 及以上所有工艺节点、覆盖offline Barc、KrF、ArF、浸没式等光刻工艺。

    投资建议

    公司22 年业绩高增，前道订单量增长迅速且在手订单充足，未来有望持续放量。我们上修公司2022/23/24 年收入至13.4/20.5/27.0 亿元（原预测为13.1/17.3/26.3 亿元），同期归母净利调整为1.9/2.9/3.8 亿元（原预测为1.4/2.1/3.3 亿元），对应PS 为13/8/6 倍。

    公司作为国产涂胶显影设备龙头，竞争优势有望进一步巩固。我们维持公司的“买入”评级。

    风险提示

    下游景气不及预期，研发验证不及预期，募投项目进展不及预期。