投资要点：

    　　事件：公司披露1Q23 业绩，超预期。公司1Q23 实现营收2.88 亿，同比高增57%；归母净利润6598 万元，同比增长104%；扣非净利5714 万元，同比增长82%。

    　　盈利能力提升，核心零部件国产化进展加速。1Q23 公司毛利率45.3%，同比提升6.6pcts，环比提升10.0pcts，均实现大幅提升。毛利率提升一方面因公司后道设备销售占比有所提升，另一方面，高速机械手和高精度热盘等核心零部件已实现国产替代，其余多项零部件亦正在逐步提高国产化率，在提升产业链安全可控的同时也将极大地降低成本。

    　　1Q23 在手订单再创历史新高，前道产品实现快速放量。2022 年全年新签订单约22 亿元，1Q23 在手订单进一步提升。4Q22、1Q23 末合同负债分别为5.8 亿、5.2 亿，合同负债下降与客户付款节奏有关，实际在手订单保持充裕。

    　　技术水平持续突破，高产能产品获得客户青睐。1）全新产品—浸没式高产能涂胶显影机，搭载36spin 工艺腔体，可在复杂光刻工艺下实现300 片以上产能，可以覆盖国内28nm及以上所有工艺节点。2）前道物理清洗设备整体已经达到国际先进水平。3）后道先进封装领域行业龙头，全新的BHP 盘体平衡压技术可应用于chiplet 等新兴先进封装领域。4）化合物、MEMS、LED 等小尺寸领域，大幅提升了去胶剥离机的极限产能。

    　　预计2023 年全球前道涂胶显影设备市场空间有望接近30 亿美元，中国大区在全球涂胶显影销售额比重预计维持在40%左右。在光刻工序涂胶显影设备领域，全球范围内日本东京电子（TEL）一家独大，市场份额接近87%，芯源微作为国内领先的涂胶显影设备生产企业，逐步获得国内头部客户认可，预计前道设备有望快速抢占国内成熟制程市场份额，打破垄断格局。

    　　清洗设备领域国产化比例呈快速提升趋势。全球半导体清洗设备市场将呈逐年增长的趋势，中国大区2023 年将达到8.26 亿美元，占全球市场需求比重约27%。国内布局清洗设备的企业主要包括盛美上海、至纯科技、芯源微、北方华创，有望快速提升国产比例。

    　　投资分析意见：上调盈利预测，维持“买入”评级。考虑到公司新产品快速放量，上调2023-2024 年盈利预测，并新增2025 年盈利预测。预计2023-2025 年归母净利润2.62、3.88、6.13 亿（原预测2023-2024 年2.30、3.54 亿），同比增速分别为31%、48%、58%，对应23 年动态PE 104 倍，维持“买入”评级。

    　　风险提示：需求低于预期影响晶圆厂扩产节奏；设备验证结果不达预期；原材料采购周期延长风险。