事件：公司发布2 023年限制性股票激励计划（草案）。

    股权激励范围较为广泛，充分调动员工积极性利好中长期发展本激励计划拟向激励对象授予160 万股限制性股票，约占本激励计划草案公告时公司股本总额的1.16%，其中首次授予128 万股，约占本激励计划草案公告时公司股本总额的0.93%，首次授予部分占本次授予权益总额的80%；预留32 万股，约占本激励计划草案公告时公司股本总额的0.23%，预留部分占本次授予权益总额的20%。本激励计划首次授予部分涉及的激励对象共计162 人，约占公司全部职工人数880 人（截至2022 年底）的18.41%，覆盖范围较为广泛。中国大陆半导体产业的高速发展，技术人才是重要竞争力，本次股权激励覆盖面进一步下沉，可以更好地激励人才，有效地将公司利益和激励对象紧密捆绑，利于公司中长期发展。

    考核目标驱动业绩持续快速增长，成本摊销费用影响可控公司分2023-2026 年四个会计年度进行业绩考核并行权，具体来看：

    1）收入端：对各考核年度的营业收入累计值定比基数（2022 年营业收入值）的年度累计营业收入增长率（A）、各考核年度营业收入同比增长率（B）进行考核。（1）若A≥对标企业营业收入增长率平均水平，且 B>0，则各年度公司层面归属比例为100%；（2）若对标企业营业收入增长率平均水平*0.8≦A<对标企业营业收入增长率平均水平，且 B>0，则各年度公司层面归属比例为80%；（3）若A<对标企业营业收入增长率平均水平*0.8 或B≤0，则各年度公司层面归属比例为0。2）费用端：若假设授予日为2023年8 月底，则预计摊销的总费用约1.24 亿元，其中2023-2027 年分别为2218、5442、2607、1509 和635 万元。虽然该费用摊销对净利润有所影响，但同时此次限制性股票激励计划实施后，将有效激发骨干员工的积极性，从而提高经营效率，给公司带来更高的经营业绩和内在价值。

    前道Track 国产替代快速突破，化学清洗机进一步打开成长空间公司积极布局前道涂胶显影设备领域，产品体系不断完善，国产化进程快速推进，同时化学清洗机进一步打开成长空间。1）前道涂胶显影：公司Off-line、I-line、KrF 机台等均已实现批量销售，浸没式机台已陆续获得国内多家知名厂商订单，超高温Barc 机台也成功实现了客户导入。此外，2022Q4 公司首台浸没式高产能涂胶显影机在国内某知名客户处完成验证，已顺利实现验收。日本TEL 在涂胶显影领域具备全球主导地位，我们看好公司国产替代加速推进。2）清洗设备：公司前道Spin Scrubber 单片式物理清洗机已较为成熟，2021 年募投项目加码市场空间更大的单片式化学清洗机，有望成为第二成长曲线。

    盈利预测与投资评级：考虑到公司在手订单充足，我们维持2023-2025年营业收入预测分别为20.18、28.45 和 37.91 亿元，当前市值对应动态PS 分别为10、7 和5 倍，维持“增持”评级。

    风险提示：半导体行业投资下滑，新品研发&产业化不及预期等。