核心观点

    　　2023H1 公司收入稳步增长，盈利能力实现提升，受益于政府补助公司业绩进一步快速增长，归母净利润同比增长95.48%。产品方面，前道Track 设备客户导入良好、部分获重复订单，后道先进封装设备再获批量重复订单；研发方面，公司涂胶显影设备及物理清洗机实现技术突破。展望全年，公司前道Track 与物理清洗产品已形成核心竞争力，叠加新品放量，业绩有望持续增长。

    　　事件

    　　公司发布2023 年半年报，2023H1 公司实现营业收入6.96 亿元，同比增长37.95%；归母净利润1.36 亿元，同比增长95.48%；扣非后归母净利润1.04 亿元，同比增长57.71%。其中，Q2 单季度实现营业收入4.07 亿元，同比增长27.09%；归母净利润0.70 亿元，同比增长88.41%；扣非后归母净利润0.47 亿元，同比增长35.28%。

    　　简评

    　　营业收入稳步增长，业绩实现大幅提升

    　　营收实现稳步增长，盈利能力提升明显。2023H1 公司实现营收6.96 亿元，同比增长37.95%，公司产品竞争力不断增强，收入规模持续增长。盈利能力方面，2023H1 公司毛、净利率分别为43.44%、19.50%，同比分别+3.33pct、+5.74pct，盈利能力提升明显。

    　　费用端来看，2023H1 公司期间费用率达29.73%，同比+2.42pct，其中销售、管理、研发、财务费用率分别为8.54%、10.70%、11.07%、-0.59%，同比分别+0.61pct、-1.36pct、+2.60pct、+0.57pct，公司持续推进研发，2023H1 公司研发费用达0.77 亿元，同比增长80.33%，研发费用高速增长导致研发费用率提升明显，受益于规模效应管理费用率得到改善，公司费用率略有提升。

    　　归结到利润端，2023H1 公司实现归母净利润1.36 亿元，同比增长95.48%，扣非净利润1.04 亿元，同比增长57.71%，受益于公司收入规模增长及盈利能力提升，公司业绩大幅提升。此外，公司计入非经常性损益的政府补助金额为0.34 亿元，占当期利润总额的比例为22.08%，政府补助带动归母净利润提升。

    　　公司存货增长较快，支撑后续增长。2023Q2 末公司存货达15.73 亿元，同比增长34.93%，环比Q1 末增长9.25%，反映出公司为后续订单增长进行战略备货较多，为后续业绩增长提供支撑。

    　　前道涂胶显影设备客户导入良好、部分获重复订单，后道先进封装设备再获批量重复订单（1）前道涂胶显影设备：①浸没式涂胶显影机：公司第三代浸没式高产能涂胶显影设备平台架构FT300（Ⅲ）于2022 年12 月份发布后获得客户广泛认可，公司对平台架构和内部腔体单元进一步完善并优化，未来该平台架构将作为通用性架构全面向下兼容ArF、KrF、I-line、offline 等工艺。截至2023H1，公司浸没式涂胶显影机客户端导入进展良好。②高端offline 设备：公司超高温烘烤Barc 设备已实现客户重复订单；应用于其他旋涂类工艺的SOC 设备实现客户端导入，该设备可在碳旋涂环节中替代传统填充工艺，有效拓展了涂胶显影机的产品应用领域和市场空间。

    　　（2）前道物理清洗设备：公司前道物理清洗机SpinScrubber 凭借其高产能、高颗粒去除能力、高性价比等优势打破国外垄断，实现国内市场领先，目前已作为主流机型广泛应用于中芯国际、上海华力、青岛芯恩、广州粤芯、上海积塔、厦门士兰等知名厂商。近年来在高产能清洗架构、颗粒去除能力等工艺上实现进一步提升，国内市占率稳步上升。

    　　（3）后道先进封装领域设备：公司与国内新兴封装势力加深合作，2023H1 再次获得来自主要厂商的批量重复订单。

    　　（4）化合物、MEMS、LED 等小尺寸领域设备：2023 年上半年，受LED 终端市场消费需求低迷、射频器件等库存调整等因素影响，公司小尺寸领域设备市场需求有所下滑。后续随着MircoLED 行业发展、移动通信基站持续扩容、AR/VR 产业链降本推进，小尺寸领域设备有望迎来新的市场增量。

    　　公司持续推进研发创新，前道设备技术突破及性能提升显著公司持续推进研发，研发成果显著。公司持续加大研发投入，2023H1 研发费用达0.77 亿元，同比增长80.33%。

    　　2023H1 公司新获发明专利6 项、实用新型专利7 项、外观设计专利7 项，新获软件著作权16 项。截至2023H1末，公司共获发明专利177 项、实用新型专利52 项、外观设计专利36 项、软件著作权76 项。公司是国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的厂商，目前已完成在前道晶圆加工环节28nm 及以上工艺节点的全覆盖。

    　　2023H1 公司在前道涂胶显影设备和物理清洗机方面实现较大突破。①涂胶显影设备方面，浸没式高产能涂胶显影机平台架构及内部腔体单元进一步优化、完善，全新的热盘快速降温技术在热盘单元烘烤温度切换过程中实现降温时间的大幅缩短，提升热盘处理效率，进而提升整机产能；旋涂省胶技术应用了基于大量客户端量产数据模型下生成的核心函数控制系统，实现光刻胶旋涂的精准控制，可为客户大量节约光刻胶成本。②物理清洗机方面，公司在多腔体高产能架构及零部件国产化等方面取得良好进展。

    　　投资建议

    　　预计2023-2025 年公司实现归母净利润分别为2.76、4.18、5.90 亿元，同比分别增长37.76%、51.75%、41.03%，对应PE 分别为71.94x、47.41x、33.62x，维持“买入”评级。