投资要点：

    　　公司是国内领先的半导体湿法设备企业，并且涂胶显影设备在国内率先量产，打破了海外的长期垄断，未来有望深度受益国产晶圆厂扩产。

    　　目前国内TRACK 设备规模近10 亿美元，长期被日企垄断TRACK 设备是光刻工序核心设备之一，负责涂胶显影等工艺。根据Gartner 数据测算，2020 年中国大陆半导体TRACK 设备销售额为7.1 亿美元，预计2023-2024 年中国大陆半导体TRACK 设备为10.1 亿美元、11.6亿美元。从供给端来看，全球和国内市场均被日本TEL、DNS 垄断了大部分市场，国产厂商目前仅芯源微TRACK 设备实现了量产，具有较大的替代空间。

    　　TRACK 设备率先量产并取得重复订单

    　　公司作为国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的厂商，目前已完成在前道晶圆加工环节28nm 及以上工艺节点的全覆盖，并持续向更高工艺等级迭代。此外，公司第三代浸没式高产能涂胶显影设备平台架构FT300（Ⅲ）发布后在客户端导入进展良好，同时未来可作为通用性架构全面向下兼容ArF、KrF、I-line、offline 等工艺。订单方面，2022 年公司新签订单22 亿元，其中包括TRACK 设备的重复订单，这预示公司打破了海外厂商垄断的格局，未来有望受益国产晶圆厂的持续扩产。

    　　盈利预测、估值与评级

    　　我们预计公司2023-2025 年营业收入分别18.89/26.03/35.35 亿元，同比增速分别为36.40%/37.81%/35.80%；归母净利润分别为3.29/4.87/6.99亿元， 同比增速分别为64.49%/47.87%/43.51% ， EPS 分别为2.39/3.53/5.07 元/股，3 年CAGR 为51.70%。绝对估值法测得公司每股价值为183.21 元，可比公司2024 年平均PE 42 倍，鉴于公司是国内率先量产前道TRACK 设备的企业，综合绝对估值法和相对估值法，我们给予公司2024 年52 倍PE，目标价183.68 元。首次覆盖，给予“买入”评级。

    　　风险提示：下游Fab 扩产不及预期；TRACK、清洗设备研发不及预期；零部件采购受限的风险；股权分散，无控股股东、实际控制人的风险。