投资要点

    　　2023 年业绩稳健增长，2024Q1 受订单结构影响有所下滑：2023 年公司实现营业收入17.2 亿元，同比+24%，其中光刻工序涂胶显影设备收入10.7 亿元，同比+41%，占比62%，单片式湿法设备收入6.0 亿元，同比+9%，占比35%；归母净利润2.5 亿元，同比+25%； 扣非归母净利润1.9 亿元，同比+36%。2024Q1 公司营业收入2.4亿元，同比-15%，归母净利润0.2 亿元，同比-76%，扣非归母净利润0.1 亿元，同比-85%，主要系一方面受客户下单节奏影响，公司2023 年新签订单下半年多于上半年，故2024Q1 验收确认的收入有所下降，另一方面公司员工人数增长、股份支付费用有所增加。

    　　2023 年毛利率明显提升，零部件国产化加速：2023 年公司毛利率为42.5%，同比+4.1pct，其中光刻工序涂胶显影设备毛利率为38.9%，同比+4.2pct，单片式湿法设备毛利率为46.3%，同比+7.2pct，净利率为14.6%，同比+0.1pct，期间费用率为30.8%，同比+1.8pct，其中销售费用率为8.3%，同比+0.8pct，管理费用率（含研发）为22.1%，同比+0.9pct，财务费用率为0.4%，同比+0.1pct。2024Q1 毛利率为40.3%，同比-5pct，净利率为6.4%，同比-16.5pct。

    　　新签订单同比基本持平，存货&合同负债环比略有提升：截至2024Q1 末，公司合同负债为4.1 亿元，同比-20%，环比+10%，存货为17.8 亿元，同比+23%，环比+9%；2023 年公司全年新签订单与2022 年基本持平，截至2023 年末公司在手订单约为22 亿元（含税）。

    　　前道涂胶显影国产替代中，清洗设备、后道先进封装设备进一步打开成长空间：（1）前道涂胶显影：公司作为国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的厂商，目前已完成在前道晶圆加工环节28nm 及以上工艺节点的全覆盖。公司Off-line、I-line、KrF 机台等均已实现批量销售，2023 年公司ArF 浸没式高产能涂胶显影设备在成熟化、标准化等方面也取得良好进展，截至2023 年末公司浸没式机台已获得国内5家重要客户订单。（2）前道清洗设备：2023 年公司新一代高产能物理清洗机已发往国内重要存储客户开展验证，机台应用新一代高产能架构可满足存储客户对产能的更高指标要求，未来有望在存储领域打开新的增量市场空间，此外公司战略性新产品前道化学清洗机已获得国内重要客户的验证性订单。（3）后道先进封装设备：公司后道先进封装用涂胶显影设备、单片式湿法设备已连续多年作为主流机型批量应用于台积电、盛合晶微、长电科技、华天科技、通富微电、珠海天成等海内外一线大厂，并推出了临时键合、解键合、 Frame 清洗等新产品。

    　　盈利预测与投资评级：考虑到设备交付节奏，我们下调2024-2025 年公司归母净利润分别为3.3（原值4.0）/4.3（原值5.8）亿元，预计2026 年归母净利润为5.5 亿元，当前市值对应动态PE 分别为41/32/25 倍。基于公司在前道Track 和清洗领域的成长性，维持“增持”评级。

    　　风险提示：半导体行业投资下滑，新品研发&产业化不及预期等。