报告导读

    公司是国内薄膜沉积设备龙头企业，专注PECVD、SACVD、ALD 设备领域，薄膜沉积设备市场空间广阔，海外企业寡头垄断，国产化率较低，国产化需求将持续旺盛。公司产品竞争力强，存货/合同负债快速增长，同时扩产/研发双管齐下，成长性与确定性兼备。

    投资要点

    国内半导体薄膜沉积设备龙头，收入规模快速成长公司深耕薄膜沉积设备行业十二载，主要产品为PECVD 设备、ALD 设备和SACVD 设备。公司收入规模快速成长，2021 年实现营收7.58 亿元（同比+73.99%），22Q1 营收1.08 亿元（同比+86.21%），呈现边际提速的趋势。22Q1公司存货余额12.94 亿元，较2021 年末上涨33.50%，已发出未确认收入商品占比较高，此外， 2022Q1 公司合同负债达7.8 亿元，较2021 年末增长2.92 亿元，预示在手订单充裕，公司未来成长性/确定性兼备。

    薄膜沉积设备国产化率仍较低，国产替代空间广阔薄膜沉积设备同光刻机、刻蚀机并称晶圆制造三大核心设备，单机价值高/市场空间大，根据Maximize Market Research 数据，2020 年全球半导体薄膜设备市场空间为172 亿美元，预计2025 年达到340 亿美元。市场格局方面，全球薄膜沉积设备由AMAT/LAM/TEL 等海外企业寡头垄断，根据我们估算2021 年国产化率不足10%，国内拓荆/华创/中微/盛美等企业在各细分领域均有布局，在国内晶圆厂持续扩产推动下，核心企业将充分受益国产化大潮。

    产品/客户优势尽显，扩产/研发双管齐下，成长动能充沛公司客户资源优质，与中芯国际、华虹集团、长江存储、长鑫存储、厦门联芯、燕东微电子等国内主流晶圆厂长期深度合作；设备工艺覆盖面广，核心产品PECVD 设备已适配180-14nm 逻辑芯片、19/17nmDRAM 及64/128 层FLASH制造工艺需求，关键性能参数比肩国际龙头；同时，公司募投10 亿用于扩大产能以及进一步加码先进制程PECVD/SACVD/ALD 设备的研发，维持自身在先进制程技术的优势，有望引领薄膜沉积设备国产化持续崛起。

    盈利预测及估值

    公司作为国内半导体薄膜沉积设备龙头，在国内晶圆产线持续扩充的背景下，将优享设备国产化带来的红利， 稳健预计公司未来三年营收分别为12.56/18.33/24.86 亿元，同比增长65.74%/45.89%/35.64%；实现归母净利润1.50/2.42/3.87 亿元，同比增长119.08%/61.59%/59.70%，考虑到公司产品布局完善、产品力优秀、行业龙头地位显著，叠加下游晶圆厂持续扩产以及设备国产化趋势，我们认为中长期来看公司仍具备广阔成长空间。

    风险提示

    晶圆厂扩产进展不及预期风险；疫情管控导致物流中断风险；技术更新风险；关键技术人才流失风险；产品验收周期较长的风险；核心技术泄密风险；市场竞争风险。