核心结论

    国内薄膜沉积设备龙头，布局三大产品系列。公司立足薄膜设备积极布局多元化产品系列，产品包括PECVD、ALD 和SACVD 设备，产品型号接近10 余款，下游客户覆盖中芯国际、华虹集团、长江存储等国内一线逻辑、存储及功率等晶圆厂商。公司2021 年营收同比增长73.99%至7.58 亿元，2017-2021 营收年均复合增速达44.3%。

    PECVD 设备：公司核心产品，产业化持续推进。公司深耕薄膜设备近十余年，拥有6 个型号产品，覆盖16 种不同工艺，产品广泛应用于逻辑、DRAM、3D NAND 及先进封装领域，设备本土主要产线覆盖率超15%，公司持续扩大产品应用领域，产品市占率持续提升。

    SACVD 设备：产业化应用和国产替代先锋。公司系国内外SACVD设备稀缺标的，产品性能对标国际一线大厂应用材料，已覆盖长江存储、华虹集团以及上海积塔等客户，主要产线设备覆盖率合计达25%，随着公司积极开拓国内外市场，后续将打开成长空间。

    ALD 设备：市场规模持续增长，有望成为新增长亮点。受益于先进制程持续推进，市场对ALD 设备需求加速增长。据Gartner 预计，未来ALD 年复合增速将达14.7%，2025 年市场规模将达32 亿美元，高价值新品布局及放量有望成为后续一大亮点。

    投资建议：预计公司2022-2024 年营收分别为12.82/18.88/24.96 亿元，作为国内薄膜设备龙头，随着工艺覆盖范围逐步拓展以及新产品快速推出，公司营收和盈利将快速增长，给予公司2022 年17 倍PS，对应股价为172.3 元/股，给予“增持”评级。

    风险提示：下游客户验证不及预期风险，竞争加剧风险，部分关键零部件卡脖子风险