1H22 归母净利润同比扭亏，超市场预期

    公司公布2022 年中报业绩，1H22 公司实现营业收入5.23 亿元，同比增长364.87%，实现归母净利润1.08 亿元，扣非归母净利润4,915 万元，较上年同期实现扭亏为盈，超市场预期，主要原因为公司收入大幅增长，同时研发费用率等费用控制能力提升。

    发展趋势

    1H22 收入同比增长364.87%，合同负债及存货均大幅增长。1H22 公司收入大幅增长，实现5.23 亿元，其中PECVD 设备收入4.67 亿元，ALD 设备收入848 万元，SACVD 设备收入4,118.97 万元；费用方面，1H22 公司销售/管理费用率分别为11.66%/4.54%，较去年全年水平均有小幅下降，上半年研发费用率达22.46%，较去年下降15.6ppt。1H22 公司存货达15.63亿元，较去年9.53 亿元增长64%，合同负债达10.86 亿元，较去年4.86亿元增长123.5%，存货/合同负债增长主要原因为公司在手订单大幅增长。

    薄膜设备工艺覆盖面拓宽，市场份额有望持续提升。截至上半年，公司设备在客户端产线生产产品的累计流片量已由截至去年年末的4600 余万片增加至7100 余万片，公司设备在客户端产线生产运行稳定性表现优异，平均机台稳定运行时间（Uptime）超过90%。目前公司PECVD 设备40nm 及以上制程已实现产业化应用；28nm-14nm 制程部分实现产业化应用，部分在进行产业化验证；14nm 以下制程在研发阶段；PE-ALD 设备在40/28nmSADP、STI Liner 工艺产业化应用，在DRAM 及3D NAND 产业化认证，我们认为随着公司产品逐渐通过验证，市场份额有望持续提升。

    新产品持续研发，市场边界有望持续拓宽。公司在CVD 细分领域内不断丰富设备种类，开发了TS-300、基于高产能平台的热处理原子层沉积Thermal-ALD、HDPCVD 设备和UVCure 设备等新产品，其中TS-300 为现有平台上六边形传输平台的设计，实现同时搭载最多五个反应腔，HDPCVD 主要针对130-55nm 深宽比小于5:1 的沟槽填充；UV cure 主要用于薄膜紫外线固化处理，与PECVD 设备成套使用，为PECVD LokII、HTN 等薄膜沉积进行紫外线固化处理，目前新设备均取得客户处订单。

    盈利预测与估值

    由于下游晶圆厂加速扩建，公司收入大幅增长，且费用控制能力提升，我们上调2022/2023 年净利润71.1%/58.2%至2.16 亿元/3.51 亿元，采用远期P/E 估值法对公司进行估值，由于半导体行业估值中枢上行，上调至2026年40xP/E，上调目标价14.1%至249 元，较当前股价9.4%上行空间，维持跑赢行业评级。

    风险

    验证进展不及预期，零部件供应时间延长，晶圆厂资本开支不及预期。