事件：公司发布2022 年Q3 业绩报告，公司预计2022 年Q1~Q3 季度实现营业收入9.92 亿元，同比增长165.19%；实现归属于母公司所有者净利润2.37 亿元，同比增长309.73%；实现扣非归母净利润1.12亿元，同比扭亏。

    　　Q3 营收同比延续高增，盈利能力维持高位：公司Q3 单季度营收4.68亿元，同比+79.19%，环比+12.50%；实现归母净利润1.29 亿元，同比+65.87%，中值对应Q3 单季度净利润28%，同比以及环比接近持平，盈利能力维持高位。

    　　股权激励彰显信心：公司于2022 年10 月1 日发布股票增值权激励计划草案，计划拟向激励对象授予280 万股限制性股票，约占公司股本总额12,647.8797 万股的2.21%，授予股票增值权的行权价格为105 元/股，预计摊销费用57,824.20 万元，其中2022/23/24/25/26 年预计分别提计2,457.89/28,354.20/15,218.20/8,315.75/3,478.15 万元。此次股权激励公司设置的业绩考核目标为：2022-2025 年收入较2021 年增长不低于100%/200%/300%/400%，对应收入分别为15.16/22.74/30.32/37.90亿元，净利润增长目标分别为270%/490%/700%/900%，对应净利润分别为2.53/4.04/5.48/6.85 亿元，较高的激励条件展现了公司对中长期成长的信心。

    　　国内CVD 设备龙头，持续布局新品：公司为国内薄膜沉积设备龙头，产品包括PECVD、SACVD 和ALD 设备等，2022 上半年PECVD 收入占比90%，下游客户涵盖中芯国际、华虹集团、长江存储、厦门联芯、燕东微电子等行业领先晶圆厂。截止2022H1，公司设备在客户端产线生产产品的累计流片量已由截至2021 年12 月份的4600 余万片增加至7100 余万片，并且平均机台稳定运行时间（Uptime）超过90%（业内标准通常为大于85%）。另外，公司不断拓展新品，目前已开发了TS-300（多边形高产能平台）、基于高产能平台的热处理原子层沉积（Thermal-ALD）、高密度等离子增强化学气相沉积（HDPCVD）设备和紫外线固化处理（UV Cure）设备等新产品。

    　　投资建议：考虑股权激励费用，我们预计公司2022 年~2024 年收入分别为15.48 亿元、24.28 亿元、32.88 亿元，归母净利润分别为2.73 亿元、4.22 亿元、6.01 亿元，给予“买入-A”投资评级。

    　　风险提示：下游需求衰减风险，市场竞争加剧风险，国产替代不及预期。