结论与建议：

    　　公司作为国内薄膜沉积设备龙头企业，在PECVD 设备领域领先其他竞争对手，是中国半导体产业链国产替代版图中重要的拼图。我们预计，为应对美国对中国半导体产业的持续封锁，中国扶持半导体产业，特别是半导体设备以及先进制程发展的力度将大幅提升。公司作为细分行业龙头，将持续受益于国产替代带来的业绩与估值的提升。预计公司2022、2023 年净利润2.2 亿元和3亿元，同比增长224%和33%，EPS 分别为1.75 元和2.33 元，目前股价对应2023 年PE98 倍、PS15 倍，考虑到薄膜刻蚀设备巨大的国产替代空间，公司股价较高点有明显修正，目前估值未完全反应业绩成长性，给予买进评级。

    　　规模效应提升，3Q22 业绩继续大幅增长：得益于国产替代的推进，2022年前三季度公司实现营收9.9 亿元,YOY 增长165%;实现净利润2.4 亿元,YOY 增长310%，扣非后净利润1.1 亿元，YOY 增长585%。其中，第3季度单季公司实现营收4.7 亿元,YOY 增长79%，QOQ 增长13%，实现净利润1.3 亿元，YOY 增长66%，QOQ 增长8%，扣非后净利润0.63 亿元。得益于收入端的大幅增长（PECVD 设备受晶圆厂信赖，1-3Q22 收入增长175%）。得益于营业收入的高速增长，公司研发费用率22%，较2021 年末降低了约16 个百分点，规模效应进一步显现。

    　　股权激励彰显公司信心：公司向高级管理人员、核心技术人员280 万股限制性股票（占总股本2.2%），同时向董事长等3 人授予40 万份股票增值权，授予价格均为105 元/股。其解锁条件为未来4 年收入较2021年增长不低于100/200/300/400%，分别达到15.2/22.7/30.3/37.9 亿元；净利润增长目标分别为270/490/700/900% ， 净利润分别达到2.5/4.0/5.5/6.9 亿元。整体来看，此次股权激励范围广，行权要求高，彰显公司对未来发展的信心，影响正面。

    　　盈利预测：预计公司2022、2023 年净利润2.8 亿元和4.1 亿元，同比增长310%和48%，EPS 分别为2.22 元和3.28 元，目前股价对应2023 年PE70 倍、PS12 倍，考虑到薄膜刻蚀设备巨大的国产替代空间，公司目前估值尚未完全反应业绩成长性，给予买进评级。

    　　风险提示：中美科技争端影响半导体设备短期需求