事件：

    公司发布2022年业绩报告及2023年第一季度报告。22年实现营业收入17.06亿元，同比增长125.02%；实现归母净利润3.69亿元，同比增长438.09%；基本每股收益3.18元/股。23Q1实现营业收入4.02亿元，同比增长274.24%；归母净利润0.54亿元，同比扭亏。业绩超于预期。

    规模效应显现，在手订单充裕

    受到半导体设备市场需求增加以及客户对公司产品认可度的继续提升，公司新增订单及在手订单金额不断增加，22年业绩实现大幅增长，规模效应显现。受益于规模效应，公司盈利能力改善明显，毛利率/净利率实现大幅提升，从21年的44.01%/8.83%提升至22年的49.27%/21.35%。22年末公司在手销售订单金额为46.02亿元（不含Demo订单），22年签订销售订单金额为43.62亿元（不含Demo订单），新增订单与上年同期相比增加95.36%，为后续业绩的增长提供了有力保障。

    成熟产品快速上量，新品研发进展迅速

    22年公司PECVD、SACVD、ALD设备分别实现营收15.63/0.89/0.33亿元，同比增长131.44%/117.39%/13.85%，占比分别为91.65%/5.25%/1.91%。在成熟产品上，公司持续提升工艺覆盖率，并形成了覆盖全系列PECVD薄膜材料的设备。SACVD设备方面，公司可实现SA TEOS、BPSG、SAF薄膜工艺沉积的SACVD设备均通过客户验证，实现了产业化应用。ALD设备方面，公司持续拓展PEALD薄膜种类及工艺应用，并获得了不同客户的订单；Thermal-ALD设备也已完成研发，并出货至不同客户端进行验证。其他新品同样进展顺利，公司研制的HDPCVD（PF-300T Hesper）设备、混合键合系列产品研发及产业化较快，均已出货至客户端进行验证。

    盈利预测、估值与评级

    考虑到公司在手订单充裕且产品竞争力快速提升，我们预计公司2023-25年收入分别为27.81/40.34/53.72亿元（23/24年原值为23.60/33.14亿元），对应增速为63.05%/45.06%/33.16%，归母净利润分别为5.77/8.08/10.64亿元（23/24年原值为4.55/6.60亿元），对应增速为56.61%/39.98%/31.69%，EPS分别为每股4.56/6.39/8.41元，三年CAGR为42.39%。鉴于公司是国内薄膜沉积设备龙头且业绩快速增长，建议保持关注。

    风险提示：中美贸易摩擦的风险；晶圆厂扩产不及预期的风险。