事件：公司发布2023年三季报。

    收入端延续高速增长，在手订单饱满

    2023Q1-Q3 公司实现营业收入17.03 亿元，同比+72%，其中Q3 营业收入为6.99 亿元，同比+49%，延续高速增长，我们判断主要系2022 年新签订单较多，陆续确认收入。截至2022 年末，公司在手订单46.02 亿元（不含Demo 订单），2022 年新签订单43.62 亿元（不含Demo 订单），同比+95%。截至2023Q3 末，公司存货和合同负债分别为38.70 和14.97 亿元，分别同比+85%和+62%，验证新签订单较为饱满，在手订单充足。随着在手订单陆续交付、确认收入，公司收入端有望延续高速增长。

    毛利率快速提升，股权激励费用压制利润端表现2023Q1-Q3 公司归母净利润和扣非归母净利润分别为2.71 和1.76 亿元，分别同比+14%和+57%。2023Q1-Q3 销售净利率和扣非销售净利率分别为15.83%和10.32%，分别同比-7.84 和-0.95pct。1）毛利端：2023Q1-Q3销售毛利率为50.35%，同比+2.03pct，我们判断主要系产品结构优化&规模化降本效应。2)费用端：2023Q1-Q3 期间费用率为38.36%，同比+1.29pct。

    2023Q1-Q3 公司股份支付费用达到1.71 亿元，剔除股份支付费用影响后，归母净利润同比增长83%，表现仍较为出色。

    股权激励范围进一步下沉，利于公司中长期发展公司发布2023 年限制性股票激励计划草案，拟授予不超过375 万股限制性股票，约占股本总额2.00%。本激励计划首次授予的激励对象总人数不超过701 人，约占公司 2023H1 末全部职工人数的76%，覆盖范围广。

    本激励计划首次授予部分考核年度为2024-2026 年，以2022 年营业收入和净利润为基数，2024-2026 年营业收入增长率目标值分别为95%、160%、210%，净利润增长率目标值分别为106%、159%和211%。若假设2023 年12 月初授予，预计摊销的总费用为3.89 亿元，其中2023-2027 年分别为0.15、1.79、1.24、0.57 和0.15 亿元，整体影响可控。

    PECVD 具备持续扩张潜力，平台化延展打开成长空间作为薄膜沉积设备国产领军者，产品覆盖面持续拓展，将充分受益进口替代。1）PECVD：公司不断扩大PECVD 通用介质薄膜材料工艺和先进介质薄膜材料工艺的应用覆盖面，持续获取批量订单和批量验收，继续保持竞争优势，具备持续扩张的潜力；2）ALD：PE-ALD 设备PF-300T Astra获得原有客户和新客户订单，NF-300H Astra 实现首台产业化应用；Thermal-ALD 出货至不同客户端进行产业化验证，验证进展顺利；3）SACVD：可实现SA TEOS、BPSG、SAF 薄膜工艺沉积的SACVD 设备均通过客户验证，量产规模逐步提升；4）HDPCVD：公司已实现首台产业化应用，出货至不同应用领域客户端进行产业化验证。5）键合设备：公司晶圆对晶圆键合设备Dione 300 实现首台产业化应用, 并获得重复订单；芯片对晶圆键合表面预处理设备Pollux 客户端产业化验证进展顺利。

    盈利预测与投资评级：考虑到设备交付节奏等影响，我们谨慎调整2023-2025 年营业收入预测分别为29.14、41.09 和53.52 亿元（原值31.67、44.82 和58.66 亿元），当前市值对应动态PS 为16、11 和9 倍，考虑到公司较强的成长性，维持“买入”评级。

    风险提示：晶圆厂资本开支下滑、国产化率提升不及预期等。