公司2023Q3 业绩实现高速增长，维持“买入”评级公司发布2023 三季报，2023Q1-3 实现营业收入17.03 亿元，YoY+71.71%；实现归母净利润2.71 亿元，YoY+14.17%；扣非净利润1.76 亿元，YoY+57.32%；毛利率50.35%，YoY+2.02pcts。其中2023Q3 实现营收6.99 亿元，YoY+49.22%，QoQ+16.21%；实现归母净利润1.46 亿元，YoY+13.2%，QoQ+106.72%；扣非净利润1.1 亿元，YoY+76.72%，QoQ+142.61%；毛利率51.67%，YoY+1.6pcts，QoQ+2.48pcts。随着行业周期逐步复苏，公司订单有望持续增长，业绩有望持续提升， 我们上调公司盈利预测， 预计2023/2024/2025 年归母净利润为5.32/7.83/11.1 亿元（前值为4.37/6.60/9.78 亿元），预计2023/2024/2025 年EPS为2.84/4.19/5.93 元（前值为3.45/5.22/7.73 元），当前股价对应PE 为85.7/58.2/41.1倍，公司作为国产薄膜沉积设备龙头，有望充分受益于国产替代进程，维持“买入”评级。

    　　股权激励计划彰显信心，助力公司长期成长动力公司2023Q3 期间费用率35.01%，YoY+2.38pcts，QoQ-5.97pcts。其中销售、管理、研发及财务费用率分别同比-1.14/+0.75/-1.46/-0.53pcts ， 环比-0.24/-5.14/-0.03/-0.56pcts。公司2023 年10 月27 日发布2023 年限制性股票激励计划（草案）。计划拟向激励对象授予不超过375 万股限制性股票，占草案公告时公司总股本约2%。激励对象总人数不超过701 人。本次股权激励计划设定以公司2022 年营业收入和 净利润为业绩基数。综合首次和预留部分激励目标值，2024/2025/2026/2027 年收入分别较2022 年增长不低于95%/160%/210%/250%；归母净利润分别较2022 年增长不低于106%/159%/211%/257%，并剔除各期股份支付费用产生的影响。公司首次授予价格为140 元/股，首次授予部分预计在2023/2024/2025/2026/2027 年分别计提0.15/1.79/1.24/0.57/0.15 亿元激励费用。

    　　风险提示：行业需求下降风险；晶圆厂资本开支下滑风险；技术研发不及预期。